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Laser and particle beams v.14 no.1, 1996년, pp.101 - 105  

Two-dimensional beam smoothing technique for KrF laser systems

Matsushima, Isao ; Yashiro, Hidehiko ; Tomie, Toshihisa ; Okuda, Isao ; Matsumoto, Yuji ; Miura, Eisuke ; Takahashi, Eiichi ; Owadano, Yoshiro ;
  • 초록  

    Broad-band random-phase (BRP) irradiation is one of the beam smoothing techniques for KrF laser drivers. We have introduced this technique into the KrF laser system ASHURA. By one-dimensional (1D) BRP smoothing, the speckle pattern in conventional random-phase irradiation has been removed. Two BRP beams were overlap-focused on the target incoherently. Although the obtained profile is rather smooth, some low-frequency nonuniformity remains. To improve the uniformity, a new technique for two-dimensional (2D) smoothing has been proposed. In this technique, a wedged etalon is used to get angular dispersion to the orthogonal direction to the 1D BRP effect. The preliminary experiment has been carried out.(Author abstract)


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  • Cambridge University Press : 저널

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