본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

IEEE transactions on plasma science v.20 no.6, 1992년, pp.1000 - 1014  

Three fluid transport models by particle-in-cell method for RF glow discharges

Li, C. ; Wu, C.-H. ;
  • 초록  

    Three self-consistent fluid transport models, simulated by the particle-in-cell simulation method (PIC/FE), have been developed for parallel-plate RF glow discharges. The electron transport is modeled by the equilibrium single-moment and nonequilibrium two- and three-moment fluid equations. In the equilibrium single-moment model, the alpha and gamma discharges are underestimated and the nonlocal gamma -discharge behavior is difficult to measure. On the other hand, the nonequilibrium three-moment model can clearly demonstrate the distinct alpha - and gamma -discharge effects similar to self-consistent Monte Carlo model results. Moreover, the three-moment model can describe the transition of plasma density, sheath width, and bulk mean energy from the alpha regime to the gamma regime and verify the transition boundary between alpha and gamma regimes which are all consistent with experimental results. The results of the three-fluid models are presented, analyzed, and compared with each other in terms of the plasma density, electric field, average velocity, current density, mean energy, and ionization rate.


  • 원문보기

    원문보기
    무료다운로드 유료다운로드
    • 무료 원문 정보가 존재하지 않습니다.

    유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

    NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 아래의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역