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Surface and interface analysis : SIA v.20 no.3, 1993년, pp.179 - 192  

Quantitative XPS. Part I. Experimental determination of the relative analyser transmission function of two different spectrometers - a critical assessment of various methods, parameters involved and errors introduced

Weng, L.T. ; Vereecke, G. ; Genet, M.J. ; Bertrand, P. ; Stone, W.E.E. ;
  • 초록  

    The relative analyzer transmission functions of two different XPS spectrometers (VG ESCA-3 Mk II and SSI X-Probe of Fisons) have been determined experimentally by several methods presented in the literature. The possible influence of the efficiency D of the detector on the determined transmission functions is discussed. The advantages and disadvantages of the methods used are pointed out, together with their limitations and potential applications. The results show that some methods can only be applied to spectrometers such as the VG ESCA-3 Mk II, for which n is a constant or depends only on E k >. The method proposed by Hemminger et al. (1990) has been shown to be applicable to both spectrometers, but a systematic error can be introduced when D is not constant. Such a systematic error can be reduced by another method, but this method can only be applied to spectrometers for which the transmission function is known for a given analyzer energy.


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