본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

Enhancement of the molecular nitrogen dissociation and ionization levels by argon mixture in flue nitrogen plasma

Liu, Junyou    (Physics Faculty, College of Sciences, Northeastern University, Shenyang 110004, China   ); Sun, Fengjiu    (Corresponding author.   ); Yu, Hanjiang    (Physics Faculty, College of Sciences, Northeastern University, Shenyang 110004, China  );
  • 초록

    Abstract In this work, the nitrogen molecular dissociation and ionization levels in Ar/N 2 flue plasma are evaluated as functions of plasma parameters such as Ar mixture quantity and N 2 flux in order to obtain the best condition for various applications such as thin film deposition and material surface modification. This plasma is operated at 10kV and the nitrogen dissociation rate is determined by analyzing the optical emission of the nitrogen band. For different operating conditions, the dissociation rate [N] of N 2 molecules was enhanced, as the mixture quantity of Ar increased from 0.06m 3 /h to 0.9m 3 /h and the max of enhancement factor is 4.3. This factor becomes bigger when the N 2 flux becomes bigger. Moreover, the molecular nitrogen ionization density is calculated from the current intensity of the plasma. The ionization density was also enhanced, as the mixture quantity of Ar increased from 0.1m 3 /h to 1.5m 3 /h, under three different voltages. The max of enhancement factor of 1.96 is much smaller than the factor of the dissociation rate. These results are discussed in terms of the kinetics of the electrons, nitrogen ions, atoms and molecules.


  • 주제어

    Nitrogen dissociation .   Nitrogen ionization .   Argon mixture .   Flue plasma.  

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • 원문이 없습니다.
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기