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Current applied physics : the official journal of the Korean Physical Society v.10 no.3 suppl., 2010년, pp.S491 - S494   SCI SCIE
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Study on mechanical and electro-optical properties of ITO/CeO2 films deposited on PI substrate for flexible organic solar cells

Kang, Y.M.    (Department of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan 609-735, Republic of Korea  ); Kwon, S.H.   Song, P.K.  
  • 초록

    ITO and ITO/CeO 2 films with various CeO 2 buffer layer thickness were deposited on flexible polyimide substrates by DC and RF magnetron bi-sputtering at 200 o C. The crystallinity of the ITO/CeO 2 films increased remarkably with increasing CeO 2 thickness from 0 to 7nm and the ITO/CeO 2 films showed a single (222)-oriented highly preferred structure. The resistivity of the ITO/CeO 2 films decreased with increasing CeO 2 buffer layer thickness due to the increase in crystallinity. The minimum resistivity of the ITO/CeO 2 film, 7nm in thickness, was 2.84x10 -4 Ωcm. A relatively small change in resistance in dynamic stress mode was observed for the ITO/CeO 2 film with a buffer layer thickness of 3nm.


  • 주제어

    Indium tin oxide .   Hybrid sputtering system .   CeO2 buffer layer .   Bending test.  

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