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Current applied physics : the official journal of the Korean Physical Society v.10 no.3 suppl., 2010년, pp.S515 - S519   SCI SCIE
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Effects of hydrogen incorporation and heat treatment on the properties of ZnO:Al films deposited on polymer substrate for flexible solar cell applications

Lee, J.H.    (Department of Electronic Engineering, Kunsan National University, San 68, Miryong-dong, Kunsan, Jeonbuk 573-701, Republic of Korea  );
  • 초록

    Aluminum doped zinc oxide (AZO) films incorporated with hydrogen were prepared by r.f. magnetron sputtering. The hydrogen content in the films was controlled by changing hydrogen gas ratio to argon gas. The influence of the hydrogen doping on the structural, electrical and optical properties of AZO film were investigated. Hydrogen introduction was demonstrated to enhance both crystallinity and conductivity of the films. The optimum value of H 2 /(Ar+H 2 ) ratio was observed to be 2.5%. Heat treatment in hydrogen atmosphere did not affect highly the optical transmittance of AZO films grown in pure argon gas. The conductivity of AZO films became wore when post-annealed at high temperature, regardless of substrate types.


  • 주제어

    Aluminum doped zinc oxide (AZO) .   Hydrogen incorporation .   Transparent conductive oxide (TCO) .   Solar cell.  

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