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Current applied physics : the official journal of the Korean Physical Society v.10 no.6, 2010년, pp.1456 - 1460   SCI SCIE
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Parametric study on excitation temperature and electron temperature in low pressure plasmas

Park, H.    (Department of Physics, Korea Advanced Institute of Science and Technology, 335 Gwahangno, Yuseong-gu, Daejeon 305-701, Republic of Korea  ); Choe, W.  
  • 초록

    This work aims at investigation of the validity of the electron excitation temperature (T exc ) by optical emission spectroscopy (OES) as an alternative diagnostic to the electron temperature (T e ). The excitation and the electron temperatures were measured at a wide range of gas pressures and input powers in different plasmas such as capacitively-coupled, inductively-coupled, and magnetron direct current plasmas. As a result, both temperatures were found to decrease with an increase in pressure, whereas they not very dependent on power, indicating that T exc showed a tendency identical to that of T e as pressure and power were varied. This result suggests that T exc measurement can be an alternative diagnostic for T e measurement once the ratio of the two temperatures is found in advance through a calibration experiment especially for low pressure high electron density industrial processing plasmas in which probe measurements are limited.


  • 주제어

    Excitation temperature .   Electron temperature .   Optical emission spectroscopy .   Langmuir probe.  

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