본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

Electrochemistry communications v.75, 2017년, pp.1 - 4   SCI SCIE
본 등재정보는 저널의 등재정보를 참고하여 보여주는 베타서비스로 정확한 논문의 등재여부는 등재기관에 확인하시기 바랍니다.

Electrochemical nanoimprint lithography directly on n-type crystalline silicon (111) wafer

Zhang, Lin (Corresponding author. ) ; Zhang, Jie ; Yuan, Ding ; Han, Lianhuan ; Zhou, Jian-Zhang ; Tian, Zhao-Wu ; Tian, Zhong-Qun ; Zhan, Dongping ;
  • 초록  

    Abstract Here we report spontaneous redox reactions at the Pt/Si/electrolyte three-phase interface and propose an electrochemical method for nanoimprint lithography on a crystalline Si wafer that does not require thermoplastic and photocuring resists. When the Pt metallized imprint mold is compacted on the n-type Si (111) wafer, electrons will transfer from the n-type Si to Pt due to their different electron work functions. At equilibrium, the Fermi levels of the electrons in each phase become equal, resulting in an electric field and a contact potential at the Pt/Si interface. When immersed in an electrolyte solution, the potentials of the Pt/electrolyte interface and the Si/electrolyte interface are observed to shift in opposite directions. Hydrogen peroxide is spontaneously reduced on the Pt surface. Meanwhile, the electrons in Si will tunnel to Pt and the residual holes will oxidize Si along the three-phase interface. In this way, the micro-/nanostructures on the Pt metallized imprint mold are transferred to the Si wafer. Highlights The contact electrification between Pt and an n-type Si (111) wafer can induce electrochemical corrosion of the latter. Based on this principle, an electrochemical nanoimprint lithography method is developed. Electrochemical nanoimprint lithography offers the possibility of imprinting directly on semiconductors. Graphical abstract [DISPLAY OMISSION]


  • 주제어

    Electrochemical microfabrication .   Electrochemical nanofabrication .   Metal assisted chemical etching .   Nanoimprint lithography .   Contact electrification.  

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • 원문이 없습니다.

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기