본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

IEEE transactions on automation science and engineering v.14 no.1, 2017년, pp.325 - 336   SCI SCIE
본 등재정보는 저널의 등재정보를 참고하여 보여주는 베타서비스로 정확한 논문의 등재여부는 등재기관에 확인하시기 바랍니다.

A Novel Control Approach for High-Precision Positioning of a Piezoelectric Tube Scanner

Habibullah, H. Pota, Hemanshu Roy Petersen, Ian R.
  • 초록  

    An optimal controller for high-precision spiral positioning of a piezoelectric tube scanner used in an atomic force microscope (AFM) is proposed in this paper. In the proposed control scheme, a second-order vibration compensator is incorporated with the piezoelectric tube scanner (PTS) to suppress the vibration of the PTS at the resonant frequency. An internal model of a reference sinusoidal signal is included with the augmented plant model and an integrator is introduced with a linear quadratic Gaussian controller which reduces the phase error between the input and output sinusoids. The proposed method allows a commercial AFM to scan at high scanning speeds as an alternative to the raster scanning approach. The performance of this controller is assessed with closed-loop frequency response, tracking accuracy, and a set of spiral scanned images. The raster scanned images obtained using the standard AFM PI controller is also presented for comparison with the spiral images. Experimental results prove the effectiveness of the proposed method.


 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • 원문이 없습니다.

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기