본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

IEEE transactions on electron devices v.64 no.2, 2017년, pp.384 - 391   SCI SCIE
본 등재정보는 저널의 등재정보를 참고하여 보여주는 베타서비스로 정확한 논문의 등재여부는 등재기관에 확인하시기 바랍니다.

Successive Conformal Mapping Technique to Extract Inner Fringe Capacitance of Underlap DG-FinFET and Its Variations With Geometrical Parameters

Sharma, Savitesh Madhulika Dasgupta, Sudeb Kartikeyan, M. V.
  • 초록  

    We propose a new analytical model based on successive conformal mapping to compute the bias dependent inner fringe capacitance in nonplanar multigate MOSFET structure with doping modulated source/drain (S/D) and gate underlap for sub 20-nm node. The conventional analytical model of capacitance and resistance for planar MOSFET cannot be applied to the nonplanar multigate MOSFET. This model considers 3-D devices fabricated on bulk oxide, gate-S/D extension with nonuniform doping gradient and spacers. The percentage variation of inner fringe capacitance with respect to underlap length is studied for various fin width and oxide thickness.


 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • 원문이 없습니다.

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기