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논문 상세정보

大気圧開放時の水分抑制によるベーキング不要の高速超高真空排気と節電効果
Quick Pumping to Ultra High Vacuum without Baking and its Electric Power Saving Effect by Reduction of Water Vapor in Exposure Gas

YAMAZAKI, Ko SHIKE, Junichi YAMAGATA, Motoi KATO, Hiroyuki KITANO, Masahiro KATO, Shigeki
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