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한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth a... 25건

  1. [국내논문]   $K_2O$를 첨가한 융액으로부터 성장시킨 Lithium Niobate 단결정의 특성   피인용횟수: 1

    김상수 (창원대학교 물리학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 525 - 531 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    Czochralski법으로 congruent(48.6mol% $Li_2O$ )한 조성의 $LiNbO_3$ 와 congruent한 조성에 Fe2O3를 0.05mol%, congruent한 조성에 $K_2O$ 를 6wt%, congruent한 조성에 $K_2O$ 와 $Fe_2O_3$ 를 각각 6wt%, 0.05mol% 첨가한 융액으로부터 $LiNbO_3$ 단결정을 c-축 방향으로 성장시켰다. 성장된 결정들은 편광 현미경과 Laue법에 의해 축을 결정한 후 절단하여 연마하였다. 시료들은 상온에서 XRD pattern을 측정하고 상온~ $1230^{\circ}C$ 의 온도영역과 100Hz~13MHz의 주파수영역에서 유전율을 측정하였으며 상온에서 결정내 $Fe^{3+}$ 이온에 대한 ESR 스펙트럼과 UV-VIS, IR영역에서의 투과율을 측정하였다. Congruent한 조성에 $K_2O$ 를 6wt% 첨가한 융액으로부터 성장시킨 결정의 상온에서의 XRD pattern은 congruent한 조성의 결정과 거의 같으며 상전이온도(Tc)는 증가하고 $Fe^{3+}$ 을 첨가하면 ESR 스펙트럼은 세기가 증가하며 lineshape가 거의 대칭적으로 되고 선폭도 훨씬 줄어든다. 또 UV-스펙트럼의 흡수단은 단파장쪽으로 이동하며 OH- 이온에 대한 IR-흡수 스펙트럼은 2886nm 성분 스펙트럼이 현저하게 증가한다. 이 결과에 의하면 congruent한 조성에 $K_2O$ 를 6wt% 첨가한 융액으로부터 성장시킨 결정은 결정 내의 [Li]/[Nb]비가 1에 가까운 거의(nearly) stoichiometric한 결정이 되었음을 알수 있다.

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  2. [국내논문]   천연베릴을 이용한 온도구배 환류법에 의한 합성 Emerald 단결정 육성  

    최의석 (국립기술품질원 요업기술원 ) , 김무경 (국립기술품질원 요업기술원 ) , 안영필 (삼조실업(주) ) , 서청교 (삼조실업(주) ) , 안찬준 (삼조실업(주) ) , 이종민 (가야대학교 공학부)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 532 - 538 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    한국산 천연베릴을 잉요하여 온도구배융제환류법에 의해 에메랄드( $3BeO{\cdot}Al_2O_3{\cdot}6SiO_2:Cr^{3+}$ ) 단결정이 성장되었다. 리튬-몰리브데늄-바나디움 산화물계 융제는 $(MoO_3+V_2O_5)/Li_2O$ , 와 $V_2O_5-Li_2O$ 를 서로 다르게 용융한 2종류의 융제를 혼합하여 제조하였다. 융제의 최적 조성은 산화몰리브데늄.바나디움에 대한 산화리튬의 몰비( $(MoO_3+V_2O_5)/Li_2O$ )가 3몰이었고 융제첨가제는 Li2O량에 대하여 $K_2O$ 또는 $Na_2O$ 를 0.2mole% 이내로 치환하였다. 베릴원료의 용융 농도는 융제량에 대하여 3~10% 함량이었고, $Cr_2O_3$ 발색제는 베릴량에 대하여 1%이었다. 융액은 용융, 성장, 회수 블록으로 나뉘어진 3지대 온도구배 결정성장로에서, $1100^{\circ}C$ 와 $1000^{\circ}C$ 사이의 안정상태에서 연속적으로 순환되도록 하였다. 에메랄드 단결정은 성장지대에서 950~ $1000^{\circ}C$ 구간에서 1일 1회 2시간동안 열진동 처리하였을 때 미소핵의 생성이 억제된 대형 단결정을 성장시킬 수 있었다. 육각주상 에메랄드 단결정의 우선성장방향은 c(0001) 바닥면이었고, m(1010) 기둥면에 수직이었다.

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  3. [국내논문]   실리콘 단결정내의 grown-in 결함 분포에 관한 고찰  

    이보영 (LG 실트론 연구소 ) , 황돈하 (LG실트론 연구소 ) , 유학도 (LG실트론 연구소 ) , 권오종 (경북대학교 금속공학도)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 539 - 543 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    초크랄스키로 성장한 Si 단결정에서 결정 성장 속도를 달리한 sample을 이용하여 COP, FPD 및 LSTD등의 grown-in 결함 밀도와 한 웨이퍼 내에서의 분포를 정확하게 측정하여 이들 결함들간의 상호 관계를 고찰하였다. 이들 결함의 밀도와 한 웨이퍼 내에 발생하는 영역의 크기는 결정 성장 속도가 빠를수록 증가하였다. 또한 한 웨이퍼 내에서 이들 결함의 발생 영역이 일치하는 것으로 보아 이들 결함은 동일한 origin에 의해 생성된 것으로 판단된다.

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  4. [국내논문]   $KMgCl_3$결정의 육성과 강탄성적 성질에 관한 연구  

    조용찬 (부산대학교 물리학과 ) , 정희태 (부산대학교 물리학과 ) , 박상언 (부산대학교 물리학과 ) , 박진습 (부산대학교 물리학과 ) , 황윤회 (부산대학교 유전체물성연구소 ) , 정세영 (부산대학교 물리학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 544 - 549 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    $KMgCl_3$ 단결정을 Ar 분위기에서 최초로 Czochralski 방법을 사용하여 육성하였다. 원료시약 KCl과 $KMgCl_2$ 를 화학량론적인 혼합으로는 KMgCl3를 육성할 수 없었고 비화학량론적인 방법을 사용하여 $KMgCl_3$ 를 육성할 수 있었다. KCl과 MgCl2를 1:1의 비율로 혼합하여 결정을 육성하였을 때에는 $K_2MgCl_4$ 단결정이 육성되었다. 육성되어진 $KMgCl_3$ 단결정의 연속적 상전이점들을 확인하기 위하여 DTA, DSC 등이 열적 실험을 수행하였다. 그리고 $KMgCl_3$ 단결정이 강탄성적 성질을 가짐을 확인하였으며 고온 편광현미경을 사용하여 온도에 따른 강탄성 domain의 변화를 조사하였다. 또한 stress-strain 이력곡선의 조사를 통하여 결정내 spontaneous strain의 온도에 따른 변화를 조사하였다.

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  5. [국내논문]   고품질의 직경 6 inch 형석($CaF_2$)단결정 성장을 위한 poly-grain 및 내부 cavity제어  

    서수형 (한양대학교 무기재료공학과 ) , 주경 (한양대학교 세라믹공정연구센터 ) , 오근호 (한양대학교 무기재료공학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 550 - 554 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    Bridgman-Stockbarger법에서 thermal screen의 역할을 하는 새로운 방법을 6inch 형석(CaF2) 단결정성장을 위하여 고안하였다. 본 방법으로 poly-grain으로의 성장과 내부 cavity, 그리고 solid-liquid(SL) interface를 제어할 수 있었다. Graphite pipe와 ceramic warmer를 사용하여 성장한 6inch의 CaF2 결정은 완전한 단결정으로 성장하였다. 이때의 조건은 2mm/hr의 성장속도, 성장구역에서의 $14^{\circ}C$ /cm의 온도구배, 그리고 도가니의 conical tip에서 $1324^{\circ}C$ 의 온도를 나타내었다. 내부 cavity에 의해 발생되는 light scattering 현상은 성장속도를 감소시키거나 융액을 회전함으로써 제어할 수 있었다.

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  6. [국내논문]   Magnetic Czochralski 실리콘 단결정 성장에서 열 및 유체유동과 질량전달에 미치는 비균일 자장의 효과  

    김창녕 (경희대학교 기계공학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 555 - 562 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    비균일 자장이 도가니에 인가되어 있는 상황에서 정상상태의 Czochralski 유동장과 비정상상태의 산소농도장에 대한 연구가 수치해석적인 방법으로 연구되었다. 여기에서 기준 자장의 세기가 B=0.1T, 0.2T, 0.3T의 경우에 대한 연구가 수행되었다. 가열에 의한 부력의 효과와 자유표면의 표면장력에 의한 열모세관 효과에 의하여 유발되는 자오면 유동은 비균일 자장에 의하여 차등적으로 억제되고 있다. 자자의 세기가 증가하면 자오면 유동에서 발생하는 순환류의 중심은 결정으로 접근하며, 순환류의 크기도 작아진다. 결정으로 흡수되는 산소의 세기가 클수록 낮아지며 농도분포는 균일해지는 경향을 갖는다.

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  7. [국내논문]   수열합성법에 의한 미립의 $BaTiO_3$ 분말합성 및 특성   피인용횟수: 1

    배동식 (한국과학기술연구원 세라믹스 연구부 ) , 주기태 (한국과학기술연구원 세라믹스 연구부 ) , 한경섭 (한국과학기술연구원 세라믹스 연구부 ) , 최상흘 (한양대학교 무기재료공학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 563 - 566 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    BaTiO3 분말은 티타늄 수산화물 용액과 비륨수산화물 용액을 혼합하여 적당한 온도와 압력하에서 합성되었다. 미분말이 얻어진 온도는 160~ $185^{\circ}C$ , 압력은 5~10kg/ $\textrm{cm}^2$ 이였다. 분말의 모양과 크기는 주사전자현미경, 결정 상은 X-선 회절로 분석하였다. 분말합성온도, 반응시간 및 농도변화에 따르는 분말의 물성을 조사하였다. $BaTiO_3$ 분말의 평균입자크기는 반응온도 및 시간이 증가함에 따라 증가하였다. $170^{\circ}C$ 에서 8시간 반응시킨 경우의 평균입자크기는 약 30nm이고, 입도 분포는 균일하였다.

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  8. [국내논문]   투과전자현미경에 의한 $LaTi_{0.8}V_{0.2}O_3$ 화합물의 결정구조 분석  

    김좌연 (호서대학교 재료공학과 ) , 윤의중 (호서대학교 전기전자제어공학과 ) , 박경순 (충주산업대학교 재료공학과 ) , 심규환 (한국전자통신연구원 반도체연구소 ) , 류선윤 (선문대학교 재료공학과 ) , 김유혁 (단국대학교 화학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 567 - 572 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    아크 용융을 사용하여 예비 건조된 $La_2O_3,\;V_2O_3,\;TiO_2$ ,Ti의 혼합물로부터 제조된 $LaTi_{0.8}V_{0.2}O_3$ 고용체의 결정구조를 투과전자현미경과 컴퓨터 이미지 시뮬레이션을 이용하여 연구하였다. 컴퓨터 이미지 시뮬레이션은 multislice 방법으로 여러 시편 두께와 초점 거리에서 실시하였다. $LaTi_{0.8}V_{0.2}O_3$ 의 결정구조는 Pnma 공간군을 가진 GdFeO3 형태의 사방정계 $(a\approx5.58{\AA},\;b\approx7.89{\AA},\;and\;c\approx5.58{\AA})$ 로 결정되었다. $LaTi_{0.8}V_{0.2}O_3$ 에서 Ti와 V 원자의 규칙화에 대한 증거를 찾아 볼 수 없었다.

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  9. [국내논문]   자전고온연소합성법에 의한 MgO-Al 스피넬 제조 및 열역학적 고찰  

    변헌수 (여수대학교 화학공학과 ) , 최태현 (대구공업대학 세라믹공업과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 573 - 580 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    MgO와 Al 분말을 자전고온연소합성법으로 $MgAl_2O_4$ 스피넬 상을 합성하였다. MgO 와 Al을 테르밋 반응으로 생성하였으며, 가열반응생성으로 $800^{\circ}C$ 예열온도에서 반응시켰다. DTA/TG, 합성생성물, 최고온도 공정조건에 대해 연구하였고, MgO와 Al은 MgO+2Al+ 3/ $2O_3$ $\rightarrow$ $MgAl_2O_4$ 로 합성되었다. 미반응된 재료로부터 MgAl2O4 스피넬의 활성화 에너지는 -264.8kcal/mol의 발생열량과 5634K의 최고 반응온도로 계산되었다. 테르밋 반응후의 시험편의 체적느 6% 증가하였다.

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  10. [국내논문]   실리콘 웨이퍼 표면에서 X-선 산만산란에 의한 기계적 손상층의 상대 정량 평가  

    최치영 (경북대학교 무기재료공학과 ) , 조상희 (경북대학교 무기재료공학과)
    한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology v.8 no.4 ,pp. 581 - 586 , 1998 , 1225-1429 ,

    초록

    초크랄스키 실리콘 기판의 뒷면에 형성된 기계적 손상이 미치는 효과에 대하여 고찰하였다. 기계적 손상의 정도는 레이저 여기/극초단파 반사 광전도 감쇠법에 의한 소수반송자 재결합 수명, X-선 단면 측정 및 습식 산화/선택적 식긱 방법으로 평가하였다. 그 결과, 웨이퍼 뒷면에 가해지는 기계적 손상의 세기가 강할수록 소수반송자 재결합 수명은 짧아지고, 산만 산란 정도와 X-선 과잉 강도의 적분값은 비례적으로 증가하였으며, 그 값을 Grade 1의 손상된 웨이퍼에서의 과잉 강도로 정규화하면 과잉 강도의 상대 정량비는 Geade 1:Grade 2:Grade 3 = 1:7:18.4이다.

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