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韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 22건

  1. [국내논문]   외부 구형관절을 이용한 조정 독립형 거울조정기  

    길계환 (포항가속기 연구소 ) , 김창균 (포항가속기 연구소 ) , 나승유 (포항가속기 연구소 ) , 이재민 (포항가속기 연구소 ) , 윤화식 (포항가속기 연구소 ) , 윤무현 (포항가속기 연구소 ) , 백성기 (포항가속기 연구소)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 145 - 154 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    조정독립성을 갖춘 새로운 형식의 조립식 거울조정기가 포항가속기연구소에서 건설중인 EPU6 빔라인용으로 개발되었다. 새로이 고안된 구형관절의 회전 중심에 거울면 중심을 위치시켜, roll 및 pitch의 회전변위가 병진변위를 인가하지 않고 서로 독립적이도록 설계하였다. 거울조정기의 roll 및 pitch 마이크로메터를 조정하면서 중력기준형 각도기를 이용하여 임시거울의 회전각을 5 $\mu$ rad의 정밀도로 측정하였다. 분해능의 설계치는 3.937 $\mu$ rad/ $\mu\textrm{m}$ 인데, 측정된 분해능은 roll 회전에 대해서 3.94 $\mu$ rad/ $\mu\textrm{m}$ 이었고 pitch 회전에 대해서는 3.85 $\mu$ rad/ $\mu\textrm{m}$ 이었다. pitch 각도에 대한 roll 회전의 영향은 -3.18%, roll 각도에 대한 pitch 회전의 영향은 -5.21%로 측정되었다. 본 거울조정기의 설계는 조정 독립성과 표준화에 중점을 두고 이루어짐으로써, 다종의 거울에 대한 거울조정기의 개발기간 단축과 설계비용 절감뿐만아니라 거울조정기의 제작, 설치 및 조정의 용이성을 도모할 수 있다.

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    Fig. 1 이미지
  2. [국내논문]   국산 M8 스테인리스 나사의 체결특성  

    인상렬 (한국원자력 연구소 ) , 박미영 (한국원자력 연구소)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 155 - 163 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    진공 시스템 구축을 위해 플랜지를 체결하기 위해서는 다수의 나사가 필수적으로 사용된다. 나사의 접촉면에 발생하는 마찰력을 아는 것으로 가정하던 나사에 가해주는 토크와 발생하는 축력의 관계를 이론적으로 구하는 것은 쉽지만 실제로는 마찰이 미지의 나사 표면상태에 크게 의존하는 것이 문제다. 시판하는 나사들의 표면상태와 제원이 일정하지 않고 나사에 의해 발생하는 축력을 제대로 예상하지 못하면 최적의 축력으로 플랜지를 균일하게 조이기가 어렵다. 본 논문에서는 플랜지 체결시 가장 말이 사용하는 나사로서 국내에서 시판되고 있는 M8 스테인리스강제 육각 표준나사 중 몇 개를 임의로 선택하고 여러 가지 체결조건에서 토크와 축력과의 관계를 구하여 우리가 예상하는 값과 얼마나 차이가 나며 나사들 사이에 어느 정도나 편차가 있는지 조사했다.

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  3. [국내논문]   알루미늄합금 진공용기의 기체방출 특성  

    박종도 (포항가속기 연구소 ) , 하태균 (포항공과대학교 물리학과 ) , 문상운 (포항공과대학교 물리학과 ) , 배인호 (포항공과대학교 물리학과 ) , 정석민 (영남대학교 물리학과)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 164 - 172 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    기계가공으로 제작되고 알칼리 화학세정을 거친 알루미늄합금(A5083) 진공용기에 대한 기체방출 특성을 조사하였다. 상온배기를 시작한 후 가열탈기체 처리를 하기 전 까지 배기곡선은 ~ $t^{-1.15}$ 모양을 따랐다. 이 알루미늄 진공용기에 대한 배기곡선을 비교적 간단한 모델들을 사용하여 용기의 내표면에 흡착되어 있는 물의 1차 방출로 분석하였다. ~ $10^{-5}-10^{-8}$ Torr 압력구간에서 물분자는 ~17 - 22 kcal/mol사이의 탈리에너지 값을 가지는 몇 개의 흡착석에서 방출됨을 알 수 있었다. 한편 $100^{\circ}C$ , 24 시간 가열 탈기체 처리후 알루미늄용기에 대한 기체방출률은 상온에서 ~1 $\times$ $10^{-13}$ Torr $\ell$ /s $\textrm{cm}^2$ 로 측정되었다.

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  4. [국내논문]   용량형진공계 교정 불확도  

    홍승수 (한국표준과학연구원 ) , 신용현 (한국표준과학연구원 ) , 정광화 (한국표준과학연구원 ) , 임인태 (한국표준과학연구원 ) , 우삼용 (한국표준과학연구원 ) , 김정형 (한국표준과학연구원 ) , 최상철 (한국표준과학연구원)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 173 - 181 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    1,333 Pa 용량의 용량형진공계를 저진공 국가표준기인 초음파간섭 수은주압력계(ultrasonic interferometer manometer)를 이용하여 교정하였다. 이 결과의 불확도를 국제표준화기구의 권고안의 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하였다. 표준압력 1.76 Pa~1.31 $\times$ $10^3$ Pa에서의 합성표준불확도는 $1.38 \times10^{-2}\; Pa\sim3.03 \times10^{-1} $ Pa이었으며, 상대불확도(합성표준불확도/표준압력)는 $2.3 \times 10^{-4}\;Pa\sim7.9 X\times10^{-3} $ Pa 이었다.

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  5. [국내논문]   HMDSO와 산소를 이용한 PECVD 증착 $SiO_xC_y$필름의 특성연구  

    김성룡 (삼양사 중앙연구소 화성소재 Gr ;) , 이호영
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 182 - 188 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    폴리카보네이트 시트의 내마모성을 향상시키기 위하여 HMDSO 모노머와 산소를 사용하여 플라즈마 기상증착시킨 $SiO_xC_y$ 필름의 특성을 분석하였다. RF출력, 산소투입량, 수소투입량을 변화시키면서 각 증착조건에 따른 생성된 필름의 화학결합구조, 원소조성, 표면조도, 헤이즈 특성에 미치는 영향을 FTIR, XPS, AFM, Hazemeter를 이용하여 알아보았다. HMDSO와 산소를 사용한 박막의 증착은 100 nm/min이상의 높은 증착속도를 가졌고,증착실험에서 얻은 증착필름의 원소조성을 XPS를 이용하여 구한 결과, 종전의 다른 유기실리콘계 모노머를 사용했을때보다 박막에 존재하는 탄소잔류물을 효과적으로 감소시키는 것을 확인하였다. 또한, RF출력 200 Watt에서 산소가 100 sccm투입되었을 때 가장 우수한 헤이즈 특성을 보이는 막을 얻을 수 있었다. 본 연구로부터 HMDSO/ $O_2$ 시스템이 탄소함량이 낮은 박막을 형성시키고 내마모도가 좋은 박막을 증착시키는데 효과적인 것을 알 수 있었다.

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  6. [국내논문]   W-TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석  

    윤선필 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부 ) , 노관종 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부 ) , 양성우 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부 ) , 노용한 (성균관대학교 재료공학과 ) , 김기수 (성균관대학교 재료공학과 ) , 장영철 (성균관대학교 재료공학과 ) , 이내응 (성균관대학교 재료공학과)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 189 - 193 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    TiN을 불소의 확산 방지막으로 사용한 W-TiN 복층 게이트 소자의 물리적.전기적 특성 변화를 살펴보았다. TiN 스퍼터링 증착시 $N_2$ /Ar 가스 비율이 증가할수록 TiN 박막은 N-과다막이 되어 비저항이 증가하였으나, W-TiN복층 구조에서는 $N_2$ /Ar가스 비율이 증가할수록 상부 텅스텐 박막의 결정화가 증가하여 비저항이 감소하였다. 한편, 같은 $N_2$ /Ar 비율의 경우, TiN 박막 열처리 온도 변화(600~ $800^{\circ}C$ )에 무관하게 W(110) 방향으로 우선 배향된 결정 구조를 보였다. 누설 전류 특성은 TiN증착시 $N_2$ /Ar 비율 변화에 무관하게 우수하였으며, TiN을 확산 방지막으로 사용함으로서 순수 텅스텐 전극만을 적용시 나타나는 초기 저전계 누설 특성을 향상시킬 수 있음을 확인하였다.

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  7. [국내논문]   Diamond-Like Carbon 박막의 광학적 특성에 관한 연구  

    권도현 (홍익대학교 금속 재료공학과 ) , 박성계 (홍익대학교 금속 재료공학과 ) , 남승의 (홍익대학교 금속 재료공학과 ) , 김형준 (홍익대학교 금속 재료공학과)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 194 - 200 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    13.56 MHz rf플라즈마를 이용하여 증착된 DLC(diamond-like carbon) 박막의 광학적 특성에 대해 조사하였다. $CH_4$ 가스를 원료가스로 하여 PECVD법에 의해 DLC 박막을 형성하였으며 이때 RF power, working pressure, 보조가스의 종류 및 양에 따른 투과도(transmittance)와 optical band gap의 변화를 관찰하였다. RF power가 증가하고 working pressure가 높을수록 optical band gap이 감소하는 결과를 얻을 수 있었고. FT-IR분석을 이용하여 탄소-수소 결합 양을 관찰함으로써 DLC 박막의 결합구조 변화를 증명할 수 있었다. 그리고 수소와 질소를 첨가한 경우 증착시 탄소-수소 결합을 끊는 역할을 하여 optical band gap이 감소하는 결과를 얻을 수 있었다.

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  8. [국내논문]   스퍼터링 방법에 의한 Fe-Ni 합금 박막의 집합조직  

    박용범 (순천대학교 재료금속공학과 ) , 임태흥 (생산기술연구원)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 201 - 206 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 저탄소강 기판에 증착시킨 Fe-Ni계 합금 박막의 집합조직 발달을 조사하였다. Fe-Ni 합금 조성은 산업적 응용을 고려하여 인바합금(Invar alloy, Fe-36.5 wt%Ni)과 퍼멀로이(Permalloy, Fe-81 wt%Ni) 두 종류로 선택하였고, 증착시간을 변수로 제작하였다. 이들 합금 박막의 집합조직은 박막에서 전형적으로 나타나는 섬유집합조직(fibre texture)의 형태로 발달하였다. 인바합금 박막에서는 증착 초기에 //ND 섬유집합조직이 발달하지만 증착시간이 증가함에따라 //ND 섬유집합조직으로 변화하였다. 퍼멀로이 박막은 증착초기에 //ND+ //ND의 혼합 집합조직을 나타내며 증착시간의 증가와 함께 //ND 섬유집합조직으로 변화하였다. 이러한 집합조직의 변화를 박막의 미세조직의 진화와의 연관성이란 측면에서 고찰하였다.

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  9. [국내논문]   솔젤법에 의해 제작된 $TiO_2$ 박막 특성  

    유도현 (안산공과대학 전기과)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 207 - 212 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    본 연구에서는 솔젤법에 의해 최적의 유전특성을 갖는 $TiO_2$ 박막의 제작조건을 정한다. 이를 위해 최적의 조건으로 합성된 sol을 이용하여 박막을 제작한 후 박막의 유전율을 측정한다. 가수분해에 필요한 물의 양이 화학양론적인 양보다 적은 경우에는 직쇄상 구조를 갖는 투명 sol이 생성되고 많은 경우에는 cluster상 입자를 갖는 현탁 sol이 생성된다. 또한 박막의 유전율은 $120^{\circ}C$ 부근을 시작으로 지수함수적으로 증가하는 것을 알 수 있다.

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  10. [국내논문]   분무열분해법에 의한 ZnO:In 박막의 구조와 전기적 특성  

    서동주 (조선대학교 과학교육학부(물리전공) ) , 박선흠 (여수공업대학)
    韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society v.10 no.2 ,pp. 213 - 218 , 2001 , 1225-8822 ,

    초록

    분무열분해법으로 유리기판 위에 ZnO와 ZnO:In 박막을 성장시켰다. 성장된 ZnO 박막은 hexagonal 구조를 이루고, 격자상수 a=3.242 $\AA$ , c=5.237 $\AA$ 였고, (002) 방향으로 선택 성장되었다. In을 0~6.03 at. % 불순물로 첨가하여 성장시킨 ZnO:In박막은 ZnO 박막의 결정구조와 같고 격자상수가 약간 증가하였다. ZnO:In 박막의 금속 이온의 비는 분무용액의 금속 이온의 비와 거의 일치하였다. ZnO:In 박막의 최소 비저항과 최대 운반자 농도는 In를 2.76 at % 불순물로 첨가하여 성장시킨 경우였는데, 그 값은 각각 19.1 $\Omega\cdot\textrm{cm}$ , $2.11\times10^{19}\textrm{cm}^{-3]$ 이었다. In를 3.93 at. % 불순물로 첨가하여 성장시킨 ZnO:In 박막 경우 400~800 nm 영역에서의 광투과율은 95% 이상이었다.

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