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보고서 상세정보

정전기제거용 나노금속혼합형 CNT음극 세라믹 X선 튜브개발
Development of CNT Cathode Ceramic X-Ray tube

  • 사업명

    중소기업상용화기술개발

  • 과제명

    정전기제거용 나노금속혼합형 CNT음극 세라믹 X선 튜브개발

  • 주관연구기관

    (주)브이에스아이

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2010-01

  • 과제시작년도

    2008

  • 주관부처

    중소기업청
    Small and Medium Business Administration

  • 등록번호

    TRKO201000010306

  • 과제고유번호

    1425051023

  • 키워드

    정전기제거.X-Ray.X-Ray tube.CNT.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    반도체, PDP 및 LCD 생산 공정 중에 발생하는 정전기는 국부적인 전위차를 발생시키며 이로 인한 고압방전은 표면손상을 야기하거나 정전기로 인한 오염물 침착을 유발하여 불량제품을 발생시킨다. 이러한 공정설비는 세계 경쟁업체간 치열...

    반도체, PDP 및 LCD 생산 공정 중에 발생하는 정전기는 국부적인 전위차를 발생시키며 이로 인한 고압방전은 표면손상을 야기하거나 정전기로 인한 오염물 침착을 유발하여 불량제품을 발생시킨다. 이러한 공정설비는 세계 경쟁업체간 치열한 시장경쟁으로 생산단가를 낮추기 위해 혹은 소비자요구에 따라 다루는 웨이퍼와 패널의 크기가 점점 대형화되어 가고 있는데, 이렇게 대형화된 생산재에서의 미소결함은 전체결함으로 이어지기 때문에 크나큰 비용손실이 된다.
    정전기제거장치는 정전기로 인한 손상을 줄이기 위해 사용되는 장치로 크게 코로나방전형 정전기제거장치와 연 X선 정전기제거장치로 나눌 수 있다. 코로나방전형 정전기 제거장치는 날카로운 끝을 가진 금속 tip에 고압을 걸어 발생되는 코로나에 의해 공기가 이온화시켜 정전기를 제거하는데 그림 2와 같이 이온바(Ion bar), 이온브로어(Ion blower), 이온노즐(Ion nozzle) 등의 형태가 있다. 그러나 코로나방전형은 금속 tip을 사용함으로 이온의 bombardment로 인한 금속탈리를 야기하고 탈리된 금속에 의한 오염으로 불량을 야기할 수 있다.


  • 목차(Contents) 

    1. 최종보고서 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 초록 ... 3
    4. 목차 ... 4
    5. 그림목차 ... 5
    6. 표목차 ... 7
    7. 제1장 개발기술의 개요 ... 8
    8. 제1절 개발기술의 중요성 ... 8
    9. 제2절 관련기술 현황 ... 10
    10. 1. ...
    1. 최종보고서 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 초록 ... 3
    4. 목차 ... 4
    5. 그림목차 ... 5
    6. 표목차 ... 7
    7. 제1장 개발기술의 개요 ... 8
    8. 제1절 개발기술의 중요성 ... 8
    9. 제2절 관련기술 현황 ... 10
    10. 1. 국내기술 현황 ... 10
    11. 2. 국외기술 현황 ... 10
    12. 3. 국내외의 연구현황 ... 10
    13. 제2장 개발목표 및 개발내용 ... 13
    14. 제1절 기술개발의 목표 ... 13
    15. 제2절 세부계획 및 개발내용 ... 13
    16. 1. 구조설계 ... 13
    17. 2. 나노메탈 혼합 CNT 이미터 및 그리드 제작 ... 14
    18. 3. Be window 스퍼터 코팅 ... 36
    19. 4. 나노메탈 혼합 CNT X-Ray 튜브 브레이징 ... 39
    20. 제3장 성과요약 및 기대효과 ... 44
    21. 제1절 핵심개발성과 ... 44
    22. 제2절 개발기술의 적용제품 ... 46
    23. 제3절 기대효과 ... 47
    24. 끝페이지 ... 48
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

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