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보고서 상세정보

웨이퍼 프로브카드 미세 탐침의 비전 검사 기술 개발

  • 사업명

    산학연 공동기술개발

  • 과제명

    웨이퍼 프로브카드 미세 탐침의 비전 검사 기술 개발

  • 주관연구기관

    단국대학교
    DanKook University

  • 연구책임자

    허경무

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2008-04

  • 과제시작년도

    2007

  • 주관부처

    중소기업청

  • 사업 관리 기관

    중소기업기술정보진흥원

  • 등록번호

    TRKO201000010636

  • 과제고유번호

    1425046139

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    반도체 웨이퍼를 제작한 후, 전기적 특성을 평가하기 위하여 프로브 스테이션을 사용하게 되며, 이 때 쓰이는 탐침의 배열을 가진 부품을 프로브 카드(Probe Card)라고 한다. 마이크로 머신을 사용한 프로브 카드(Probe Car...

    반도체 웨이퍼를 제작한 후, 전기적 특성을 평가하기 위하여 프로브 스테이션을 사용하게 되며, 이 때 쓰이는 탐침의 배열을 가진 부품을 프로브 카드(Probe Card)라고 한다. 마이크로 머신을 사용한 프로브 카드(Probe Card)의 제작은 설계의 복잡성, 미세한 탐침의 제작 등 어려운 작업 과정을 거쳐서 만들어 진다. 특히 최근에는 반도체의 성능 향상과 함께 반도체 웨이퍼 검사 공정에 사용되는 프로브 카드(Probe Card)도 다핀화, 소피치화의 일로를 걷고 있다. 이러한 프로브 카드(Probe Card) 제작의 핵심 부품이 탐침이다. 탐침은 그 크기가 [㎛] 단위로 상당히 미세하다. 만약 길이, 꺾임 각도 등 탐침 자체에 문제가 있다면 정밀한 반도체 웨이퍼 검사를 할 수 없을 것이다. 탐침의 길이가 일정하지 않다면 반도체 웨이퍼와의 접촉에 문제가 생기고, 웨이퍼의 전기적 특성을 평가할 수 없기 때문이다. 따라서 반도체 웨이퍼 검사에서 중요한 역할을 하는 탐침은 실제 웨이퍼 검사를 수행하기 위해 프로브 카드(Probe Card)에 장착되기 전, 탐침의 꺾임 정도, 길이 등의 이상 여부를 반드시 검사해야 한다. 현재 탐침의 이상 유무 검사는 사람이 현미경을 사용해서 수행하고 있고, 이와 같은 사람의 육안에 의해 품질검사가 이루어지는 방식은 다음과 같은 문제점을 가지고 있다. 우선 검사자의 육체적, 정신적 상태에 따라서 일정하지 않은 검사 결과를 초래하게 되며, 검사 속도 또한 그 검사자의 검사 숙련도에 따라 정해지므로 일정한 검사 속도를 유지할 수도 없다. 즉 사람에 의한 검사 방법은 현재까지 정밀도나 정확도, 검사의 신뢰도가 그리 만족할 만한 수준까지 오지 못했고, 결과적으로 정규화 되지 않은 검사로 인해 제품의 신뢰성 및 정확성을 떨어뜨리고 있는 것이다. 따라서 사람에 의한 검사 대신 자동화된 머신 비전 시스템에 의해 탐침 외관 검사를 수행한다면 이러한 단점을 보완할 수 있고, 일정한 검사 성능을 유지할 수 있다. 머신 비전 시스템으로 검사 장비를 구성하였을 경우, 현재 많은 인력이 소모되고 있는 검사 과정을 간단하게 자동화할 수 있으며, 이는 반도체 소자의 원가 절감으로 이어져 반도체 산업의 경쟁력을 높일 수 있는 것이다. 따라서 반도체 웨이퍼 검사용 탐침과 같이 미세한 부품은 꼭 정규화 및 자동화된 머신 비전 시스템으로 검사돼야 하는 것이다.


  • 목차(Contents) 

    1. 3. 과제별 세부 집행내역...1
    2. I. 조성 금액...1
    3. II. 과제개발비 집행내역...1
    4. 개발결과의견서...4
    5. 목차...5
    6. 제 1 장 서 론...6
    7. 제 1 절 연구 필요성...6
    8. 제 2 절 연구 목적...6
    9. 제 2 장 과제개발 내용 및...
    1. 3. 과제별 세부 집행내역...1
    2. I. 조성 금액...1
    3. II. 과제개발비 집행내역...1
    4. 개발결과의견서...4
    5. 목차...5
    6. 제 1 장 서 론...6
    7. 제 1 절 연구 필요성...6
    8. 제 2 절 연구 목적...6
    9. 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...7
    10. 제 1 절 연구 내용...7
    11. 제 2 절 연구 방법...7
    12. 제 3 장 사업성과...14
    13. 제 1 절 기술적 측면...14
    14. 제 2 절 경제·산업적 측면...14
    15. 제 3 절 활용방안...15
    16. 제 4 장 결 론...15
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
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