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보고서 상세정보

대용량 Mechanical Vacuum Booster Pump 개발
Development of the mechanical vacuum booster pump of great capacity

  • 사업명

    산학연 공동기술개발

  • 과제명

    대용량 Mechanical Vacuum Booster Pump 개발

  • 주관연구기관

    경일대학교
    Kyungil University

  • 연구책임자

    이원식

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2008-06

  • 과제시작년도

    2007

  • 주관부처

    중소기업청

  • 사업 관리 기관

    중소기업기술정보진흥원

  • 등록번호

    TRKO201000010796

  • 과제고유번호

    1425045361

  • 키워드

    진공펌프.브스터펌프.루츠펌프.진공.vacuum pump.booster pump.roots pump.vacuum.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    1. 최종목표
    ① 배기량 3800㎥/hour 초과 Mechanical Vacuum Booster Pump 제품 양산화
    ② 외국 기술의 Copy 개발 수준을 뛰어넘어 향상된 독자적 기술 확보
    ③ 근본 기술 보유로, 연...

    1. 최종목표
    ① 배기량 3800㎥/hour 초과 Mechanical Vacuum Booster Pump 제품 양산화
    ② 외국 기술의 Copy 개발 수준을 뛰어넘어 향상된 독자적 기술 확보
    ③ 근본 기술 보유로, 연계 개발 활성화
    2. 개발내용 및 결과
    ① 압축열에 의한 변형, 소음, 고발열 등을 협력기관에서 근본적으로 규명함으로써 원천적 기술을 확보하여 본 개발품에 적용하였다.
    ② 저 진공에서 고진공 진행시 발생될 수 있는 문제점등을 기술적 Data로 규명하였다.
    ③ 3800㎥/hour급 Mechanical Vacuum Booster Pump를 시작품으로 제작하여 성능 Test를 함으로써 만족할 만한 성과를 얻어, 양산 시판가능한 단계까지 개발 완료 하였다.
    3. 사업성과
    ①기술적 성과
    ▶ 국내에서는 현재까지 생산한바가 없는 대형 Vacuum Pump를 생산할 수 있는 기술을 확보함으로써 향후 5000㎥/hour급 초대용량 진공펌프를 개발할 수 있는 기술능력을 보유하게 되었다.
    ▶ 대형 진공펌프를 생산할 수 있는 기술은 현재 개발 중에 있는 Dry Vacuum Pump의 개발에도 큰 도움이 되고 있다.
    ② 경제적 성과
    ▶ 전량 수입에 의존하고 있는 고가의 대용량 Vacuum Pump를 국산화함으로써 수입대체 효과와 기업체들의 투자비용 절감 효과가 있을 것으로 기대된다.
    ▶ 유지비용 절감과 대용량 Vacuum Pump에 의한 공정단축으로 원가절감에 의한 기업의 이윤증대와 제품가격의 인하효과가 있을 것으로 기대된다.
    ③ 활용성과
    ▶ 현재 국내 Display 및 Vacuum Coating 장비 산업은 진공펌프의 대형화를 요구하고 있지만 기술적 한계 때문에 산업체의 요구를 충족할 수 없었다. 그러나 본 사업의 성공으로 진공펌프의 대형화에 따른 기술적 한계를 극복하여 산업체의 요구를 수용할 수 있게 되었다.
    ▶ 7세대 이상 대형 LCD 및 300㎜ 웨이퍼 라인 등 대형화되고 있는 반도체 산업에 대용량 진공펌프를 사용함으로써 진공 장비의 효율성을 높일 수 있을 것으로 기대된다.
    ▶ 대용량 진공펌프는 Sputter, CVD, PVD등 산업 전반에 걸쳐 대형 진공 Coating 장비 및 In Line Coating 장비에 적용될 것으로 기대된다.
    4. 향후추진계획
    ① 대용량 진공펌프 양산화 시스템 구축
    ② 대만, 중국, 일본, 스위스, 인도 등 당사의 해외 대리점을 통한 신규시장 개척
    ③ 매출 증대를 위한 Vacuum System 제조업체와 연계
    ④ 본 기술을 바탕으로 Dry Vacuum Pump 개발


  • 목차(Contents) 

    1. 최종보고요약서(초록)...1
    2. 개발결과의견서...3
    3. 표지...4
    4. 최종보고서 제출서...5
    5. 목차...6
    6. 제 1 장 서론...7
    7. 제 1 절 기술개발의 필요성...7
    8. 제 2 절 국내외 관련기술 현황...8
    9. 제 3 절 국내외 시장규모...8...
    1. 최종보고요약서(초록)...1
    2. 개발결과의견서...3
    3. 표지...4
    4. 최종보고서 제출서...5
    5. 목차...6
    6. 제 1 장 서론...7
    7. 제 1 절 기술개발의 필요성...7
    8. 제 2 절 국내외 관련기술 현황...8
    9. 제 3 절 국내외 시장규모...8
    10. 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...10
    11. 제 1 절 기술개발 내용...10
    12. 제 2 절 개발방법...12
    13. 제 3 장 사업성과...13
    14. 제 1 절 기술적 성과...13
    15. 제 2 절 경제적 성과...13
    16. 제 3 절 기타 성과...13
    17. 제 4 장 결론...14
    18. 제 1 절 연구개발 결과...14
    19. 제 2 절 향후 추진 계획...14
    20. 부록...14
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

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