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보고서 상세정보

50nm급 나노공정 측정 및 평가 기술 개발
Nano-process measurement and evaluation technology (50 nm)

  • 사업명

    21세기프론티어연구개발사업

  • 과제명

    50nm급 나노공정 측정 및 평가 기술 개발

  • 주관연구기관

    한국기계연구원
    Korea Institute of Machinery and Materials

  • 연구책임자

    이학주

  • 참여연구자

    최병익   우창수   한승우   김정엽   김재현   박현성   김경식   현승민   장봉균   허신   이상주   ...  

  • 보고서유형

    2단계보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2008-05

  • 과제시작년도

    2007

  • 주관부처

    과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국과학재단
    Korea Science and Engineering Foundtion

  • 등록번호

    TRKO201000012167

  • 과제고유번호

    1355049630

  • 키워드

    박막(50nm).기계적 물성.광물성.시험기 상용화.인라인 모니터링.thin film(50nm).mechanical properties.optical properties.testing systems commercialization.in-line monitoring.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    o Development of measurement/evaluation technique and core technology
    to produce measurement system for nano materials in 50nm...

    o Development of measurement/evaluation technique and core technology
    to produce measurement system for nano materials in 50nm level processing
    o Mechanical properties of thin films and nano materials are essential to design
    nano device and optimum process conditions
    o There are increasing demands for fusion technology of materials, mechanics and
    electronics to develop nano material and devices. The reliable evaluation methods
    of nano materials are key technologies to develop various nano related products.
    □ Mechanical properties measurement/evaluation techniques for 50nm level processing materials


    □ 50 nm 급 공정용 소재의 기계적 물성 측정/측정 평가 기술
    ? 나노기둥압축시험법을 이용한 60 nm급 나노임프린트용 소재의 기계적 물성 측정
    ? 대칭형 AFM 캔틸레버와 4 점 굽힘 시험을 이용한 NIL용 폴리머의...

    □ 50 nm 급 공정용 소재의 기계적 물성 측정/측정 평가 기술
    ? 나노기둥압축시험법을 이용한 60 nm급 나노임프린트용 소재의 기계적 물성 측정
    ? 대칭형 AFM 캔틸레버와 4 점 굽힘 시험을 이용한 NIL용 폴리머의 접착특성 평가
    ? Bulge 시험기 제작 및 다층 박막의 기계적 물성 측정
    공진법을 이용한 박막 물성 시험기 제작 및 급 박막 물성 측정 30 nm ?
    ? On-chip-tester 설계, 공정 개발 및 시제품제작
    ? NIL 공정용 점착증가막 및 점착방지막에 따른 점착력 평가
    을 이용한 급 박막의 탄성계수 측정 Wrinkle sub 50 nm ?
    ? 분자동역학 프로그램을 이용한 나노임프린트 공정의 점착 현상 해석
    ? 박막 고온 물성 장치 구성 및 물성평가
    나노 튜브의 인장특성 평가를 위한 하중 측정기술 개발 ?
    ? Knoop 압자를 이용한 박막의 이방성 및 잔류응력 평가
    □ 미소 인장/피로 시험기 및 나노 Probe 응용 물성 측정 시험기 핵심 기술
    ? 고주파수 및 하중제어 박막 인장/피로시험기 제품화
    ? 실시간 변위/변형률 측정이 가능한 VIT(Visual Image Tracing)시스템 장치 개발
    ? 형상 및 기계적 물성 측정을 위한 가변 강성 AFM Probe 설계 및 제작
    ? 국제표준규격 (IEC) 3 종 제안
    ? 띠 굽힘 전용 시험기 시제품 제작
    □ 나노 공정용 소재의 물리적 물성 측정 및 손상 평가 기술
    ? 고속 나노 광측정 장비 개발
    ? 나노 구조물의 광물성 측정/평가 기술 및 표준화 개발
    ? 나노 공정용 소재의 기본 역학물성 평가기법 개발 및 박막 응력 측정
    ? 나노 공정용 소재의 결정성 평가기술 개발
    ? 나노 튜브의 인장특성 평가를 위한 하중 측정기술 개발
    ? 나노공정용 박막소재의 잔류응력 측정을 위한 평가알고리즘 개발과 실험 및 FEM
    시뮬레이션을 통한 소재 이방성 정량화
    □ In-line 공정 모니터링에 적용 가능한 측정 평가 기술
    ? 수직형 MEMS 프로브 설계/제작 및 특성/신뢰성 평가
    캔틸레버 개발 및 물성 형상 측정 Higher Harmonic SPM / ?
    ? 나노인덴테이션을 이용한 나노 임프린트된 폴리머 박막의 잔류두께 측정
    ? 고속 타원계측기술과 원자현미경을 이용한 초고속 대면적 Hybrid 측정개념설계
    ? 고속 Micro-focus Ellipsometer 원천 특허 및 주요 장치 개발


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 보고서 초록 ...4
    4. 요약문 ...6
    5. SUMMARY...8
    6. CONTENTS...12
    7. 목차 ...14
    8. 제1장 연구개발과제의 개요 ...16
    9. 제1절 연구개발의 배경 및 목적 ...16
    10. 제2절 연구개발...
    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 보고서 초록 ...4
    4. 요약문 ...6
    5. SUMMARY...8
    6. CONTENTS...12
    7. 목차 ...14
    8. 제1장 연구개발과제의 개요 ...16
    9. 제1절 연구개발의 배경 및 목적 ...16
    10. 제2절 연구개발의 필요성 ...17
    11. 제3절 연구개발의 목표 ...20
    12. 제2장 국내외 기술개발 현황 ...24
    13. 제1절 기계적 물성 및 형상 측정 ...24
    14. 제2절 점착 특성 측정 ...28
    15. 제3절 물리적 물성 측정 ...31
    16. 제4절 In-line 모니터링 기술 ...34
    17. 제5절 표준화 기술 ...36
    18. 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ...38
    19. 제1절 나노기둥압축시험법을 이용한 60 nm급 나노임프린트용소재의 기계적 물성 측정 ...38
    20. 제2절 대칭형 AFM 캔틸레버를 이용한 나노 스케일의 점착력 특성 연구 ...41
    21. 제3절 Bulge 시험기 제작 및 Al 박막의 기계적 물성 측정 ...46
    22. 제4절 공진법을 이용한 박막 물성 시험기 제작 및 30 nm급 박막 물성 측정 ...49
    23. 제5절 On-chip-tester 설계 및 시제품제작 ...54
    24. 제6절 Wrinkle을 이용한 sub 50nm 박막의 기계적 물성 평가 ...60
    25. 제7절 4 점 굽힘 시험을 이용한 NIL용 폴리머의 접착특성 평가 ...63
    26. 제8절 AFM 모아레를 이용한 나노 구조물의 고 분해능 변형 측정기법 개발 ...67
    27. 제9절 나노임프린트 공정에서 공정조건의 변화에 따른 점착현상 해석...71
    28. 제10절 박막 고온 물성 시험장치 구성 및 물성평가 ...76
    29. 제11절 폴리이미드 모재 위에 증착된 구리 박막의 기계적 물성과 전기저항 측정 ...83
    30. 제12절 마이크로 인장 시험에서 Au 박막의 기계적-전기적 복합물성의 측정 ...85
    31. 제13절 UV-NIL용 소재의 속도의존적인 점착력 측정 ...91
    32. 제14절 금 박막의 인장 물성에 미치는 두께와 미세조직의 영향 ...94
    33. 제15절 미소 인장/피로 시험기 및 나노 Probe 응용 물성 측정 ...101
    34. 제16절 나노 공정용 소재의 물리적 물성 측정 및 손상 평가 기술 ...122
    35. 제17절 In-line 공정 모니터링에 적용 가능한 측정 평가 기술 ...156
    36. 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...172
    37. 제1절 목표달성도 ...172
    38. 제2절 관련 분야 기여도 ...174
    39. 제5장 연구개발결과의 활용계획 ...176
    40. 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...178
    41. 제7장 참고문헌 ...188
  • 참고문헌

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