본문 바로가기
HOME> 보고서 > 보고서 검색상세

보고서 상세정보

MEMS공정을 이용한 고기능 수소센서기판 기술 개발

  • 사업명

    21세기프론티어연구개발사업

  • 과제명

    MEMS공정을 이용한 고기능 수소센서기판 기술 개발

  • 주관연구기관

    세주(주) 기술연구소

  • 연구책임자

    이원배

  • 참여연구자

    이호준   이진경   차정호   정선영   우형중   이승환  

  • 보고서유형

    1단계보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2006-05

  • 과제시작년도

    2005

  • 주관부처

    과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국과학재단
    Korea Science and Engineering Foundtion

  • 등록번호

    TRKO201000012225

  • 과제고유번호

    1350023524

  • 키워드

    수소.수소센서.접촉연소식가스센서.멤스.수소감지기.Hydrogen.Hydrogen Sensor.Catalytic Combustible Gas Sensor.MEMS.Hydrogen Detector.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    In this study, we fabricated the substrate for catalytic combustion type hydrogen gas sensor by MEMS (Micro ElectroMechanic Syste...

    In this study, we fabricated the substrate for catalytic combustion type hydrogen gas sensor by MEMS (Micro ElectroMechanic System) technology.
    This sensor substrate is composed of a platinum micro heater(width:20㎛, thickness:2㎛) and a cavity(dimension:600㎛ x 600㎛, depth:200㎛) to improve the thermal efficiency. Also, the size is very small, 1.8㎜ x 2.4㎜ and this can be made by 1,500 units in a 4 inch silicon wafer.
    The hydrogen sensor using the substrate works at low temperature around 100℃, and need only 3㎽ electric power. Moreover, this sensor could detect very low concentration of hydrogen gas up to 0.02%, but also exhibits no cross sensitivity to other flammable gases such as iso-butane, methane. Compared to conventional sensor technology, the results described above is very excellent, and we could expect to make it commercialize in a future.


    1. 연구개발 목표
    향후 중요한 에너지원으로 부상하게 될 수소의 제조 및 저장, 그리고 각종 이용분야에서 안전 및 제어에 필수적인 수소센서를 형성할 수 있는 접촉연소식 센서기판을 제작한다.
    2. 연구개발 결과
    1) ...

    1. 연구개발 목표
    향후 중요한 에너지원으로 부상하게 될 수소의 제조 및 저장, 그리고 각종 이용분야에서 안전 및 제어에 필수적인 수소센서를 형성할 수 있는 접촉연소식 센서기판을 제작한다.
    2. 연구개발 결과
    1) 미세가공
    센서기판 크기: 2.0mm x 2.0mm (1500개/4인치 웨이퍼)
    백금히터 크기: 폭 20um, 두께 2um
    감지체 크기: 0.1mm x 0.1mm
    캐비티 크기: 면적 600um x 600um, 깊이 200um
    2) 센서특성
    감지도: 5이상
    측정범위: 0.02 ~ 10%
    감지속도: 0.1sec 이내
    소비전력: 3mW 이하
    선택성: 아이소부탄의 500배 이상
    3. 연구개발 성과
    수소센서와 관련된 하드웨어 및 소프트웨어 기술확보 및 수소감지기 제작
    4. 기대효과
    수소센서기판, 수소감지기 기술 등은 연료전지 및 수소연구에 당장 적용할 수 있을 뿐만 아니라, 향후 수소에너지의 상용화를 촉진할 수 있는 근간기술로 자리매김할 수 있을 것으로 생각한다.


  • 목차(Contents) 

    1. 제출문...1
    2. 보고서 초록...2
    3. 요약문...3
    4. Summary...6
    5. 목차...7
    6. 제1장 연구개발과제의 개요 ...9
    7. 제1절 연구개발의 목적 및 필요성 ...9
    8. 제2절 연구개발의 범위 ...9
    9. 1. 수소센서기판의 제작 ...10...
    1. 제출문...1
    2. 보고서 초록...2
    3. 요약문...3
    4. Summary...6
    5. 목차...7
    6. 제1장 연구개발과제의 개요 ...9
    7. 제1절 연구개발의 목적 및 필요성 ...9
    8. 제2절 연구개발의 범위 ...9
    9. 1. 수소센서기판의 제작 ...10
    10. 2. 고감도 감지체 제작 ...10
    11. 3. 수소센서 특성 측정기술 ...10
    12. 4. 수소 감지기 제작기술 ...10
    13. 제2장 국내외 기술개발 현황 ...11
    14. 제1절 외국의 기술개발 현황 ...11
    15. 제2절 국내의 기술개발 현황 ...13
    16. 제3절 조사연구개발 사례에 대한 평가 ...13
    17. 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ...16
    18. 제1절 이론적 배경 ...16
    19. 1. 접촉연소식 가스센서의 원리 ...16
    20. 2. 미세가공기술 ...17
    21. 3. 접촉연소식 MEMS 수소센서의 특징 ...18
    22. 제2절 연구개발 내용 ...18
    23. 1. 센서 제조공정 ...19
    24. 2. 수소센서의 동작회로 ...29
    25. 3. 측정시스템 ...29
    26. 제3절 연구개발 결과 ...30
    27. 1. 제작된 수소센서의 특성 ...30
    28. 제4장 목표달성도 및 관련분야 기여도 ...35
    29. 제1절 연구개발목표의 달성도목표달성도 및 관련분야 기여도 ...35
    30. 1. 연구개발 내용 및 범위와 달성도 ...35
    31. 2. 연구개발 목표 및 결과와 달성도 ...35
    32. 제2절 관련분야 기술발전 기여도 ...36
    33. 1. MEMS 기술을 이용한 Micosensor ...36
    34. 2. 대량 생산이 가능한 고기능 수소센서 및 감지기 제작 기술 ...36
    35. 제5장 연구개발결과의 활용계획 ...39
    36. 제1절 연구개발성과의 실용화 ...39
    37. 1. 국내외 시장 현황 및 전망 ...39
    38. 2. 사업화 계획 ...39
    39. 제2절 연구개발을 통해 파생된 성과 ...39
    40. 1. 연구개발성과의 기술적 응용잠재력 ...39
    41. 2. 연구개발성과의 산업, 공공분야 파급효과 ...40
    42. 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...41
    43. 참고문헌 ...42
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역