본문 바로가기
HOME> 보고서 > 보고서 검색상세

보고서 상세정보

도핑농도 정량분석용 분해능 5nm 다이아몬드 열전탐침 nano-제작공정 및 측정기법 개발
Development of diamond thermo-electric probe nano-fabrication process and measurement technology for quantitative 2-D dopant profiling of IC devices with 5nm spatial resolution

  • 사업명

    특정기초연구지원사업

  • 과제명

    도핑농도 정량분석용 분해능 5nm 다이아몬드 열전탐침 nano-제작공정 및 측정기법 개발

  • 주관연구기관

    고려대학교
    Korea University

  • 연구책임자

    권오명

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2009-04

  • 과제시작년도

    2007

  • 주관부처

    과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국과학재단
    Korea Science and Engineering Foundtion

  • 등록번호

    TRKO201000012915

  • 과제고유번호

    1355050364

  • 키워드

    다이아몬드 열전탐침.나노 다이아몬드 박막.불순물 농도 측정.제백계수.주사탐침현미경.나노제작기술.diamond thermoelectric.Nano Diamond Thin Film.Dopant density profiling.Seebeck Coefficient.Scanning Probe.nano-fabrication process.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    The goal of this project is to develop measurement technique and sensors that can quantitatively map out the dopant density profi...

    The goal of this project is to develop measurement technique and sensors that can quantitatively map out the dopant density profile of IC devices with spatial resolution better than 5 nm by carrying out local heating, temperature sensing, and thermoelectric voltage measurement simultaneously at the tip of diamond thermoelectric probe. Diamond thermoelectric probe at the tip of which nano thermocouple is located is the key component in this measurement technique and will be developed through the creative fusion of nano-fabrication technique and the nano diamond coating technique.


    본 연구는 탐침 첨단의 열전쌍에서 국소가열, 온도 측정, 열전전압 측정의 세 가지 기능을 동시에 수행함으로써 반도체의 불순물 농도 분포를 정량적이면서도 또한 5nm 이상의 높은 공간 분해능으로 맵핑할 수 있는 측정기법을 개발하는 것...

    본 연구는 탐침 첨단의 열전쌍에서 국소가열, 온도 측정, 열전전압 측정의 세 가지 기능을 동시에 수행함으로써 반도체의 불순물 농도 분포를 정량적이면서도 또한 5nm 이상의 높은 공간 분해능으로 맵핑할 수 있는 측정기법을 개발하는 것을 최종 목표로 한다. 탐침 첨단에 다이아몬드 나노 열전쌍이 장치된 다이아몬드 열전 탐침은 본 측정기법에 필요한 핵심 부품이며 이는 nano-fabrication 기술과 나노 다이아몬드 코팅기술의 창의적 융합을 통하여 개발한다.


  • 목차(Contents) 

    1. 중견연구자지원사업(핵심연구) 최종보고서 ...1
    2. <목 차> ...2
    3. I. 연구계획 요약문...3
    4. 1. 국문요약문 ...3
    5. II. 연구결과 요약문 ...4
    6. 1. 국문요약문 ...4
    7. 2. 영문요약문 ...5
    8. III. 연구내용 및 결과 ...6...
    1. 중견연구자지원사업(핵심연구) 최종보고서 ...1
    2. <목 차> ...2
    3. I. 연구계획 요약문...3
    4. 1. 국문요약문 ...3
    5. II. 연구결과 요약문 ...4
    6. 1. 국문요약문 ...4
    7. 2. 영문요약문 ...5
    8. III. 연구내용 및 결과 ...6
    9. 1. 연구개발과제의개요 ...6
    10. 2. 국내외 기술개발 현황 ...7
    11. 3. 연구수행 내용 및 결과 ...12
    12. 4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...37
    13. 5. 연구결과의 활용계획 ...40
    14. 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...41
    15. 7. 주관연구책임자 대표적 연구실적 ...42
    16. 8. 참고문헌 ...42
    17. 9. 연구성과 ...43
    18. 10. 기타사항...46
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역