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보고서 상세정보

기능성 초접착 표면 제작을 위한 대면적 나노공정 기술 개발

  • 과제명

    기능성 초접착 표면 제작을 위한 대면적 나노공정 기술 개발

  • 주관연구기관

    서울대학교
    Seoul National University

  • 연구책임자

    서갑양

  • 참여연구자

    정훈의   김재관   이성훈   곽문규   오상근   강도현  

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2010-06

  • 과제시작년도

    2009

  • 주관부처

    교육과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국연구재단

  • 등록번호

    TRKO201000013155

  • 과제고유번호

    1345101245

  • 키워드

    나노공정,멤스,고종횡비,게코도마뱀,접착표면,생체모사Nanofabrication,Microelectromechanical systems,High aspect ratio,Gecko lizard,Adhesion surface,Biomimetics

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    Academic aspect
    - Securing core technologies for fabrication of micro/nano hierarchical nanohairs with controlled leaning angl...

    Academic aspect
    - Securing core technologies for fabrication of micro/nano hierarchical nanohairs with controlled leaning angle.
    - Securing nanofabrication techniques such angled etching, high aspect ratio structure molding, and partial UV crosslinking.
    - Securing optimized adhesion mechanism under various situations.
    Industrial aspect
    - Highly applicable medical bandage, transportation system, and mechanical locking systems, and selective transfer techniques.
    - Securing core intellectual properties on artificial dry adhesion and its products.
    Educational aspect
    - Securing highly multidisciplinary and versatile manpower resources by combining nanotechnology, biotechnology, information technology, and manufacturing technology.


    1. 나노 신장기술을 통한 고종횡비의 나노 섬모 제작
    몰드와 고분자, 기판 사이의 표면 에너지를 측정, 분석하여 신장, 몰딩, 갈라짐을 판단하여 적절한 신장 조건을 확립. 열가소성 수지를 사용하여 직경 80 nm, 종횡비 20...

    1. 나노 신장기술을 통한 고종횡비의 나노 섬모 제작
    몰드와 고분자, 기판 사이의 표면 에너지를 측정, 분석하여 신장, 몰딩, 갈라짐을 판단하여 적절한 신장 조건을 확립. 열가소성 수지를 사용하여 직경 80 nm, 종횡비 20 이상의 미세 섬모 제작
    2. 열가소성 수지를 사용한 계층구조 제작
    PMMA, PS등의 열가소성 수지를 PDMS 몰드를 이용하여 1차 구조물을 형성하고 그 위에 PUA 몰드를 사용하여 2차 미세 구조물을 형성함
    3. UV 경화성 수지를 사용한 계층구조 제작
    PUA를 사용하여 공정을 진행할 때 1차 구조물 형성 중 몰드와 고분자 계면사이에 존재하는 산소 또는 외부로부터 전해지는 산소의 경화지연 효과로 인해 부분적인 경화가 일어나게됨. 부분 경화된 1차 구조위에 2차 미세 구조를 성형함으로써 계층구조를 확보할 수 있음.
    4. 경사식각 구조 제작을 통한 경사구조 제작
    기존의 기술로는 불가능하였던 나노스케일의 경사 식각을 가능하게 하는 신개념 경사 식각 기술을 개발 할 수 있었음. 경사식각물의 바닥 형상을 조절할 수 있는 기술을 연구하였음.
    5. E-beam irradiation을 이용한 경사구조 제작
    수직 고종횡비 고분자 나노구조물을 1차 형성시키고, 형성된 구조물에 전자빔을 조사함으로써 인위적으로 경사진 형태의 고종횡비 나노 구조물을 형성할 수 있는 기술 을 개발
    6. 선택적 금속 증착을 통한 경사구조 제작
    수직 고종횡비 고분자 나노구조물을 1차 형성시키고, 기판에 기울어진 각도로 금속을 증착 시킴으로써 구조물의 한쪽에만 금속이 증착이 되도록하는 공정 기술을 개발. 선택적 금속증착이 이루어진 고분자 구조를 가열하게되면 금속과 고분자간의 열팽창율 차이에 의해 금속쪽으로 기울어진 구조가 제작됨. 또한 E-beam 에 노출 하게 되면 고분자가 수축됨에따라 반대방향으로 기울어지게된다.
    7. 탈착이 가능한 버섯구조 건식 접착 패치 제작
    방향성 없는 버섯조의 건식 점착 샘플을 SOI wafer의 over etching & footing effect를 이용하여 제작. 제작시 가하였던 strain을 인가하고 제거하는 것으로 접착과 탈착을 조절할 수 있음.
    8. 정밀 부품 산업에 활용가능한 데모 장비 개발
    방향성을 가지는 건식접착샘플을 이용해 디스플레이 패널 운반을 위한 시제품을 제작하였음.


  • 목차(Contents) 

    1. 제출문 ...1
    2. 보고서 초록 ...2
    3. 요약문 ...3
    4. SUMMARY ...11
    5. CONTENTS ...12
    6. 목차 ...13
    7. 제1장 연구개발과제의 개요 ...14
    8. 제1절 연구개발의 목적 및 필요성 ...14
    9. 제2절 연구개발의 내용 및 범위 .....
    1. 제출문 ...1
    2. 보고서 초록 ...2
    3. 요약문 ...3
    4. SUMMARY ...11
    5. CONTENTS ...12
    6. 목차 ...13
    7. 제1장 연구개발과제의 개요 ...14
    8. 제1절 연구개발의 목적 및 필요성 ...14
    9. 제2절 연구개발의 내용 및 범위 ...17
    10. 제2장 국내외 기술개발 현황 ...19
    11. 1. 국내 연구 현황 ...19
    12. 2. 국외 연구 현황 ...21
    13. 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ...23
    14. 제1절 연구 개발 수행 내용 ...23
    15. 제2절 연구 개발 수행 내용에 따른 결과 ...29
    16. 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...50
    17. 제1절 연구개발 목표 및 평가 착안점 ...50
    18. 제2절 목표 달성 현황 ...52
    19. 제5장 연구개발결과의 활용계획 ...60
    20. 1. 의공학 점착 패치 ...60
    21. 2. 건식점착패드를 사용한 정밀 산업 부품의 운송/고정 ...61
    22. 3. Graphene, metal 전사를 이용한 소자 개발 ...62
    23. 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...63
    24. 제7장 참고문헌 ...64
    25. [첨부1] ...65
    26. [첨부2] ...76
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
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