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보고서 상세정보

무기고분자를 이용한 미세화학 세라믹 MEMS 모듈 제조기술 개발
Development of Microchemical Ceramic MEMS Module Fabrication Technology from Preceramic Polymers

  • 사업명

    국가지정연구실사업

  • 과제명

    무기고분자를 이용한 미세화학 세라믹 MEMS 모듈 제조기술 개발

  • 주관연구기관

    충남대학교
    Chungnam National University

  • 연구책임자

    김동표

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2009-08

  • 과제시작년도

    2007

  • 주관부처

    과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국과학재단
    Korea Science and Engineering Foundtion

  • 등록번호

    TRKO201000013183

  • 과제고유번호

    1355047991

  • 키워드

    무기고분자.세라믹소재.마이크로/나노패터닝.기능성 고분자.미세유체소자.MEMS 모듈.미세화학반응.랩온어칩.미세화학공장.Inorganic polymer.Ceramic.Micro/nanopattern.Functionalized polymer.Microfluidics.MEMS module.Microchemistry.Lab-on-a-chip.Microreactor.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ◎Phase I : Fabrication and evaluation of SiC ceramic MEMS pattern and module.
    $1^{st}$ : Synthesis of functional in...

    ◎Phase I : Fabrication and evaluation of SiC ceramic MEMS pattern and module.
    $1^{st}$ : Synthesis of functional inorganic polymers and development of various patterning processes
    $2^{nd}$ : Evaluation of functionalized inorganic polymers and development of advanced fabrication processes
    ◎Phase II : Fabrication and evaluation of inorganic polymer derived microreactors
    $3^{rd}$ : Fabrication of ceramic micro pattern and structures
    $4^{th}$ : Fabrication of microchemical module
    $5^{th}$ : Evaluation of microreactors at various conditions


    ◎1단계 : SiC계 세라믹 MEMS 부품형 패턴/구조물의 제조 및 특성 평가
    1차년도 : 무기고분자 합성 및 특성분석을 통한 패턴/구조물 제조공정 안정화
    2차년도 : 기능성 무기고분자 개발/특성평가 후 세라믹 패턴 심화...

    ◎1단계 : SiC계 세라믹 MEMS 부품형 패턴/구조물의 제조 및 특성 평가
    1차년도 : 무기고분자 합성 및 특성분석을 통한 패턴/구조물 제조공정 안정화
    2차년도 : 기능성 무기고분자 개발/특성평가 후 세라믹 패턴 심화 제조공정 확립
    ◎2단계 : 무기고분자 기반 미세화학 반응기 모듈 구현 및 성능평가
    3차년도 : 세라믹 특성 제어기술 확립 및 세라믹 패턴/구조물 조합에 의한 모듈제조
    4차년도 : 미세화학 반응모듈 제작 및 활성화 기술 확립
    5차년도 : 무기고분자 기반 소형 화학반응기 제조 및 성능 신뢰성 평가


  • 목차(Contents) 

    1. 도약연구사업(국가지정연구실) 최종보고서 ...1
    2. 목차 ...2
    3. I. 연구계획 요약문 ...3
    4. 1. 국문요약문 ...3
    5. II. 연구결과 요약문 ...4
    6. 1. 국문요약문 ...4
    7. 2. 영문요약문 ...5
    8. III. 연구내용 및 결과 ...6
    9. ...
    1. 도약연구사업(국가지정연구실) 최종보고서 ...1
    2. 목차 ...2
    3. I. 연구계획 요약문 ...3
    4. 1. 국문요약문 ...3
    5. II. 연구결과 요약문 ...4
    6. 1. 국문요약문 ...4
    7. 2. 영문요약문 ...5
    8. III. 연구내용 및 결과 ...6
    9. 1. 연구개발과제의 개요 ...6
    10. 2. 국내외 기술개발 현황 ...9
    11. 3. 연구수행 내용 및 결과 ...10
    12. 4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...33
    13. 5. 연구결과의 활용계획 ...35
    14. 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...36
    15. 7. 주관연구책임자 대표적 연구실적 ...37
    16. 8. 참고문헌 ...37
    17. 9. 연구성과 ...38
    18. 10. 기타사항 ...87
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
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