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보고서 상세정보

산화물/실리콘 계면 특성조사를 통한 산화물 박막의 초기 성장 메커니즘 연구
The interface interdiffusion characteristics of oxide thin films on Si substrates

  • 사업명

    일반연구자지원

  • 과제명

    산화물/실리콘 계면 특성조사를 통한 산화물 박막의 초기 성장 메커니즘 연구

  • 주관연구기관

    부산대학교 산학협력단

  • 연구책임자

    박성균

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2010-04

  • 과제시작년도

    2009

  • 주관부처

    교육과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국연구재단

  • 등록번호

    TRKO201000013557

  • 과제고유번호

    1345105107

  • 키워드

    계면 물성.x선 분광현상.산화물 박막.산화물전자소재.박막의 초기성장 조건.완화층.interface.PES.oxide thin films.electroceramics.initial growth condition.buffer layer.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ● Investigate the initial growth mechanism of simple oxide layers such as Yttrium stabilized zirconia, and ZnO are grown on Si su...

    ● Investigate the initial growth mechanism of simple oxide layers such as Yttrium stabilized zirconia, and ZnO are grown on Si substrate etc using non-destructive tools such as angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy and x-ray reflectometer.
    ● Investigate the effect on growth parameters such as partial pressure, substrate temperature to have optimum buffer layers.


    ● 금속 산화물 박막 (Yttrium stabilized zirconia)의 초기 성장 메커니즘 연구를 통해서 Si와 금속산화물박막 계면에서의 화학적 상태 (interdiffuion, chemical reaction 등등)에 따른 ...

    ● 금속 산화물 박막 (Yttrium stabilized zirconia)의 초기 성장 메커니즘 연구를 통해서 Si와 금속산화물박막 계면에서의 화학적 상태 (interdiffuion, chemical reaction 등등)에 따른 산화물 박막의 구조를 비파괴 방법 (x-ray reflectometry, angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy)을 통해서 연구한다.
    ● 박막의 성장 조건 (산소 분압, 기판의 온도)의 변화에 따른 연구를 통해 최적화된 금속산화물 박막과 계면상태의 상호관계에 대해 연구한다.


  • 목차(Contents) 

    1. 최종보고서(초안) ...1
    2. 목차 ...3
    3. I. 연구 계획 요약문 ...4
    4. 1. 국문 요약문 ...4
    5. II. 연구 결과 요약문 ...5
    6. 1. 국문 요약문 ...5
    7. 2. 영문 요약문 ...6
    8. III. 연구내용 및 결과 ...7
    9. 1. 연구개발...
    1. 최종보고서(초안) ...1
    2. 목차 ...3
    3. I. 연구 계획 요약문 ...4
    4. 1. 국문 요약문 ...4
    5. II. 연구 결과 요약문 ...5
    6. 1. 국문 요약문 ...5
    7. 2. 영문 요약문 ...6
    8. III. 연구내용 및 결과 ...7
    9. 1. 연구개발과제의 개요 ...7
    10. 2. 국내외 기술개발 현황 ...10
    11. 3. 연구수행 내용 및 결과 ...12
    12. 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ...31
    13. 5. 연구 결과의 활용 계획 ...31
    14. 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...31
    15. 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ...32
    16. 8. 참고 문헌 ...32
    17. 9. 연구 성과 ...34
    18. 10. 기타사항 ...35
    19. [별첨1]대표연구성과 ...36
    20. 자체평가 의견서 ...37
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

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