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플렉시블 디바이스용 고열전도도 보호막 및 흼성 특성 연구
Studies on High Thermal Conduction Passivation Layers and Flexibility Evaluation for Flexible Devices

  • 사업명

    일반연구자지원

  • 과제명

    플렉시블 디바이스용 고열전도도 보호막 및 흼성 특성 연구

  • 주관연구기관

    연세대학교 산학협력단

  • 연구책임자

    조용수

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2010-04

  • 과제시작년도

    2009

  • 주관부처

    교육과학기술부

  • 사업 관리 기관

    한국연구재단

  • 등록번호

    TRKO201000014443

  • 과제고유번호

    1345106296

  • 키워드

    플렉시블 소자.flexible device.nitride.stress.passivation layer.thin film.thermal conduction.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    Development of nitride-based passivation layer for flexible devices
    - Successful deposition of nitride thin films at low tempe...

    Development of nitride-based passivation layer for flexible devices
    - Successful deposition of nitride thin films at low temperatures of 150oC
    - Fabrication of clear and smooth surface thin film as a passivation layer (target transmittance: >80%, roughness: <3nm)
    - Crystallization and adhesion investigation for the low T-processed nitride thin films
    Study on characteristics of conducting layer, which are protected with the nitride passivation, under various bending conditions.
    - Property variations in passivation and conducting layers under different flexibility conditions. (target: electrical conductivity < 20% under a 30% curvature application)
    - Characteristics of passivation layer prepared under bendign stress and process optimization


    Flexible 디바이스용 고열전도도를 가지는 nitride passivation 보호막 소재 개발
    - 150oC 이하 저온 증착으로 목표로 nitride계 소재 박막 증착
    - 보호 절연막으로서 높은 광투과도 및 roug...

    Flexible 디바이스용 고열전도도를 가지는 nitride passivation 보호막 소재 개발
    - 150oC 이하 저온 증착으로 목표로 nitride계 소재 박막 증착
    - 보호 절연막으로서 높은 광투과도 및 roughness를 만족하는 flexible 박막 소재 개발 (transmittance: >80% ,roughness: <3nm 목표)
    - 극저온에서의 결정화 거동 및 adhesion 기구 연구
    Bending stress시 nitride막으로 보호된 flexible 전도성 막의 변화 연구
    - Bending curvature 변화에 따른 passivation 보호막 및 전도성 막 (Mo/Al) 특성 변화 연구 (곡률 30% 변화 시 전기 전도도 +/-20% 변화 목표)
    - Stress하에서의 증착조건 및 보호막 특성 연구 - 결정화 및 물리적 특성 연구
    - Bending stress 변화에 따른 전도성막의 특성 변화 정량화 및 기구 연구


  • 목차(Contents) 

    1. 최종보고서 ...1
    2. 목차 ...3
    3. I. 연구계획 요약문 ...4
    4. 1. 국문요약문 ...4
    5. II. 연구결과 요약문 ...5
    6. 1. 국문요약문 ...5
    7. 2. 영문요약문 ...6
    8. III. 연구내용 및 결과 ...7
    9. 1. 연구개발과제의 개요 .....
    1. 최종보고서 ...1
    2. 목차 ...3
    3. I. 연구계획 요약문 ...4
    4. 1. 국문요약문 ...4
    5. II. 연구결과 요약문 ...5
    6. 1. 국문요약문 ...5
    7. 2. 영문요약문 ...6
    8. III. 연구내용 및 결과 ...7
    9. 1. 연구개발과제의 개요 ...7
    10. 2. 국내외 기술개발 현황 ...10
    11. 3. 연구수행 내용 및 결과 ...13
    12. 3.1 연구내용 ...13
    13. 3.2 연구결과 및 고찰 ...16
    14. 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ...29
    15. 4.1 사업내용 및 목표대비 달성도 ...29
    16. 4.2 관련분야에의 기여도 ...31
    17. 5. 연구결과의 활용계획 ...32
    18. 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...33
    19. 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ...35
    20. 8. 참고 문헌 ...35
    21. 9. 연구 성과 ...37
    22. 10. 기타사항 ...37
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
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