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보고서 상세정보

반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술 개발

  • 사업명

    중소기업기술혁신개발

  • 과제명

    반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술 개발

  • 주관연구기관

    주식회사 새빛

  • 연구책임자

    박성은

  • 참여연구자

    오한석   김신   김민  

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2004-03

  • 과제시작년도

    2003

  • 주관부처

    중소기업청

  • 사업 관리 기관

    한국산업기술평가원

  • 등록번호

    TRKO201000015340

  • 과제고유번호

    1420000296

  • 키워드

    반도체.고온프로세스.천이금속.결정화.투과율.ware.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    1. 기술개발목표
    반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술을 개발하기 위하여 실리카 유리내의 금속불순물 중 Fe과 Cr은 0.5ppm 이하, Ni과 Cu는 0.1ppm 이하로 제어하고, 실리카유리의 300㎚ 파장에서의 ...

    1. 기술개발목표
    반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술을 개발하기 위하여 실리카 유리내의 금속불순물 중 Fe과 Cr은 0.5ppm 이하, Ni과 Cu는 0.1ppm 이하로 제어하고, 실리카유리의 300㎚ 파장에서의 UV 투과율이 90% 이상이 되도록한다.
    2. 기술개발의 목적 및 중요성
    반도체 고온 프로세스의 ware용 재료로 사용되는 실리카유리는 그 우수한 열적, 기계적, 화학적 특성 때문에 반도체 산업뿐만 아니라 최근 폭발적으로 수요가 증가하고 있는 LCD 등의 디스플레이 재료 및 제조공정에 중요하게 사용되고 있으며, 그 외에도 광섬유 등의 통신재료, 광학부품, 렌즈 등과 같은 광학재료나 램프, 히터 등의 관 재료 등에 폭넓게 사용되고 있다.
    이처럼 다양한 산업분야에서 매우 중요한 역할을 담당하고 있는 실리카유리는 전량을 국외에서 수입하고 있으며 국내에서의 생산은 전무한 실정이다. 따라서 향후 반도체 등의 전자산업 뿐만 아니라 미래 산업으로 각광을 받고 있는 광산업 등에 있어서 매우 중요한 위치를 차지할 실리카유리 제조기술의 연구개발과 국산화에 의한 자체생산은 국가의 첨단산업 발전과 경쟁력 제고를 위해 절실히 필요한 과제라 할 수 있을 것이다.
    3. 기술개발의 내용 및 범위
    ▷물리적 방법에 의한 천이금속 제거조건 최적화
    ▷열화학적 방법에 의한 천이금속 제거기술 개발
    ▷초고온 열처리에 의한 실리카유리의 결정화 방지기술 개발
    ▷금속불순물 원소분석 평가
    ▷실리카유리의 투과율 평가
    4. 기술개발 결과
    반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술 개발결과, 실리카유리 내의 금속불순물 중 Fe, Cr, Ni, Cu는 각각 0.177, 0.005, 0.001, 0.002 ppm이었고, 300㎚ 파장에서 실리카유리의 UV 투과율이 91%로 개발목표치를 달성하였다.
    ▷특허출원 3건, 실용신안등록 2건
    5. 기대효과
    반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술 개발이 완료됨에 따라 반 도채 ware용 실리카유리의 1000억 원 정도의 국내시장과 3000억 원 정도의 세계시장으로 진입이 가능하며, 현재 국내에서는 전량 수입에 의존하고 있는 실정이므로 수입대체효과가 클 것으로 본다.


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 요약서(초록) ...3
    4. 목차 ...5
    5. 제1장 기술개발목표 ...7
    6. 제1절 개발기술의 중요성 ...7
    7. 제2절 국내외 관련기술의 현황 ...8
    8. 제3절 기술개발 목표 ...12
    9. 1. 금속불순물 함량 ...12<...
    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 요약서(초록) ...3
    4. 목차 ...5
    5. 제1장 기술개발목표 ...7
    6. 제1절 개발기술의 중요성 ...7
    7. 제2절 국내외 관련기술의 현황 ...8
    8. 제3절 기술개발 목표 ...12
    9. 1. 금속불순물 함량 ...12
    10. 2. 투과율 ...12
    11. 제2장 기술개발의 내용 및 범위 ...13
    12. 제1절 기술개발 주요내용 ...13
    13. 1. 물리적 방법에 의한 천이금속 제거조건 최적화 ...13
    14. 2. 열화학적 방법에 의한 천이금속 제거기술 개발 ...13
    15. 3. 초고온 열처리에 의한 실리카유리의 결정화 방지기술 개발 ...14
    16. 4. 금속불순물 원소분석 평가 ...15
    17. 5. 실리카유리의 투과율 평가 ...15
    18. 제2절 기술개발 추진일정 ...16
    19. 제3절 기술개발의 문제점 및 개선방안 ...17
    20. 1. 금속불순물 원소분석 평가 ...17
    21. 2. 부식성가스에 의한 천이금속 제거장치제작 ...17
    22. 3. 투과율 측정용 샘플 가공 ...17
    23. 제3장 기술개발 결과 ...18
    24. 제1절 기술개발 주요결과 ...18
    25. 1. 물리적 방법에 의한 천이금속 제거조건 최적화 ...18
    26. 2. 열화학적 방법에 의한 천이금속 제거기술 개발 ...25
    27. 3. 초고온 열처리에 의한 실리카유리의 결정화방지기술 개발 ...29
    28. 4. 금속불순물 원소분석 평가 ...30
    29. 5. 실리카유리의 투과율 평가 ...31
    30. 제2절 평가방법 및 평가결과 ...33
    31. 제3절 기대효과 ...39
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
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