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보고서 상세정보

특 고압 반도체 스위치를 이용한 플라즈마 이온 임플랜트용 펄스 모듈레이터 개발

  • 사업명

    중소기업기술혁신개발

  • 과제명

    특 고압 반도체 스위치를 이용한 플라즈마 이온 임플랜트용 펄스 모듈레이터 개발

  • 주관연구기관

    (주)다원시스

  • 연구책임자

    유효열

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2003-06

  • 과제시작년도

    2002

  • 주관부처

    중소기업청

  • 사업 관리 기관

    한국산업기술평가원

  • 등록번호

    TRKO201000015366

  • 과제고유번호

    1420018735

  • 키워드

    특고압.반도체스위치.플라즈마.이온임플랜트.모듈레이터 아크 보호.상승시간.하강시간.펄스전압.펄스전류.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    1. 기술개발목표
    60kV, 3000kW 펄스 출력을 갖는 플라즈마 이온 주입 장비를 위한 펄스 모듈 레이터 개발.
    2. 기술개발의 목적 및 중요성
    물체 표면에 플라즈마 이온을 주입하면 이온이 물체 표면에 들어가 그...

    1. 기술개발목표
    60kV, 3000kW 펄스 출력을 갖는 플라즈마 이온 주입 장비를 위한 펄스 모듈 레이터 개발.
    2. 기술개발의 목적 및 중요성
    물체 표면에 플라즈마 이온을 주입하면 이온이 물체 표면에 들어가 그 부위의 물리적 내지는 화학적 성질을 변화시켜 새로운 소재를 만들어 낸다 이런 성질을 이용하여 공구나 각종 기계 부품의 표면처리에 널리 사용되고 있다. 경쟁기술인 PVD 및 CVD에 비해 처리비용이 훨씬 저렴하고 소재의 형상 및 크기에 대한 수용범위가 월등히 크다는 점에서 향후 응용분야의 확대가 기대된다. 고전압 펄스 모듈레이터가 장비의 성능, 소재의 처리효과 및 생산성을 결정짓는 가장 중요한 요소임에도 불구하고 현재는 전적으로 수입에 의존하고 있는 실정이다.
    본 과제를 통하여 펄스 모듈레이터를 개발한다면 수입대체 효과 뿐만 아니라 관련산업의 발전에도 크게 이바지 하리라 본다.


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 요약서 ...3
    4. 목차 ...5
    5. 제1장 개요 ...6
    6. 제1절 개발대상 기술의 개요 ...6
    7. 제2절 기술개발의 필요성 및 효과 ...9
    8. 제2장 시스템 구성 ...12
    9. 제1절 시스템 구성 ...12...
    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 요약서 ...3
    4. 목차 ...5
    5. 제1장 개요 ...6
    6. 제1절 개발대상 기술의 개요 ...6
    7. 제2절 기술개발의 필요성 및 효과 ...9
    8. 제2장 시스템 구성 ...12
    9. 제1절 시스템 구성 ...12
    10. 제2절 고전압 전원장치 ...12
    11. 제3절 고전압 스위치 TANK ...12
    12. 제4절 CONTROL UNIT ...13
    13. 제3장 기술개발 내용 ...15
    14. 제1절 정전류 형 60kV 20kW 고전압 전원 장치 개발 ...15
    15. 제2절 고전압 대 전력 펄스 출력용 캐패시터 연구 및 선정 ...20
    16. 제3절 100kV 100A MOSFET Switch Module 개발 ...21
    17. 제4절 ARC 고속 Interrupt 검출 및 제어 기술 개발 ...25
    18. 제5절 DSP를 기본으로 하는 주 제어기 H/W 및 S/W 개발 ...27
    19. 제6절 60kV 3,000kW 펄스 출력을 갖는 펄스 모듈레이터 개발 ...29
    20. 제7절 플라즈마 이온 주입 장비 적용 시험 ...61
    21. 제4장 결론 ...63
    22. 부 록 ...65
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

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