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보고서 상세정보

반도체 웨이퍼 슬라이싱용 다이아몬드 와이어 쏘오 제조기술 개발

  • 사업명

    중소기업기술혁신개발

  • 과제명

    반도체 웨이퍼 슬라이싱용 다이아몬드 와이어 쏘오 제조기술 개발

  • 주관연구기관

    (주)코디스

  • 연구책임자

    장동빈

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2003-03

  • 과제시작년도

    2002

  • 주관부처

    중소기업청

  • 사업 관리 기관

    한국산업기술평가원

  • 등록번호

    TRKO201000015383

  • 과제고유번호

    1420022106

  • 키워드

    실리콘웨이퍼.슬라이싱.전착.다이아몬드.와이어.쏘오.도금.

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    1. 기술개발목표
    - 6" ~12" 실리콘 웨이퍼 슬라이싱용 ∮0.25mm 다이아몬드 와이어 쏘오 제조기술개발
    - 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 절단폭 50 $\mu$ 이내 공차
    - 실리콘 웨이퍼 슬라이...

    1. 기술개발목표
    - 6" ~12" 실리콘 웨이퍼 슬라이싱용 ∮0.25mm 다이아몬드 와이어 쏘오 제조기술개발
    - 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 절단폭 50 $\mu$ 이내 공차
    - 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 두께 편차 10 $\mu$$\mu$ 이내 공차
    2. 기술개발의 목적 및 중요성
    반도체 소자 제조용 재료로써 광범위하게 사용되고 있는 단결정 실리콘, Li (LiTa03) 단결 정, 석영유리 그리고 쎄라믹스 등의 슬라이싱용으로 전착형 다이아몬드 와이어 쏘오를 개발 하려 한다. 슬라이싱되는 폭은 0.25mm 이내로 유지하면서 종전방법의 문제점인 와이어의 끊어짐이나 다이아몬드 탈락으로 인한 국부적인 와이어 장력 감소 등을 개선한 초정밀 전착형 다이아몬드 와이어 쏘오 제조기술이 요구된다.
    3. 기술개발의 내용 및 범위
    본 개발을 Bond재가 도금으로 되기 때문에 치밀한 강도와 내구성을 구비하도록 설계되어 가는 철심 와이어에 전착으로 돌출된 다이아몬드 입자들이 슬라이싱을 행할 때, 힘 배출을 용이하게끔 10-60㎛의 크기의 다이아몬드를 사용하여 연속식으로 행하는 것이 특징이다.
    4. 기술개발 결과
    본 개발의 최종 목표인 12" 실리콘 웨이퍼 슬라이싱을 업체에서 Test가 진행 중에 있으며. 도금공정에 대한 자동제어 기술 확립.
    5. 기대효과
    본 개발품인 가는 철심와이어에 다이아몬드 전착 기술로 제조되는 전착기술과 다이아몬드 를 가는 철심에 균일하게 일정 깊이만큼 전착할 수 있는 도금조의 설계제조 기술이 개발되어, 앞으로 응용될 수 있는 정밀전착공구 분야가 마이크로드릴과 같은 절삭공구 분야로까지 확대되므로 잠재시장은 대단히 크다고 할 수 있다.


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 초록 ...3
    4. 목차 ...4
    5. 제1장 서론 ...5
    6. 제1절 개발 제품의 개요 ...5
    7. 제2절 제조기술 공정 개요 ...7
    8. 제3절 관련 기술의 동향 ...24
    9. 제2장 개발 추진 현황 ...28
    10. 제...
    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 초록 ...3
    4. 목차 ...4
    5. 제1장 서론 ...5
    6. 제1절 개발 제품의 개요 ...5
    7. 제2절 제조기술 공정 개요 ...7
    8. 제3절 관련 기술의 동향 ...24
    9. 제2장 개발 추진 현황 ...28
    10. 제1절 개발 내용 ...28
    11. 제2절 개발사업 목표 대비 사업진척 현황 ...33
    12. 제3절 다이아몬드 전착용 도금 공정 개발 ...34
    13. 제4절 전착 설비 개발 ...36
    14. 제3장 개발 결과 ...41
    15. 제1절 개발 과정상의 문제점 ...41
    16. 제2절 기술 개발의 중요성 ...42
    17. 제3절 기술 개발 목표 및 내용 ...43
    18. 제4절 기술 개발 애로 사항 ...46
    19. 제4장 본 연구의 결론 및 고찰 ...47
    20. 제1절 기술 개발 완료에 따른 기대 효과 ...47
    21. 제2절 본 연구의 결론 ...49
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
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