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보고서 상세정보

반도체 제조공정의 진공배관 세정장치

  • 사업명

    중소기업기술혁신개발

  • 과제명

    반도체 제조공정의 진공배관 세정장치 개발

  • 주관연구기관

    (주)테라텍

  • 연구책임자

    장덕현

  • 참여연구자

    백기남   김환윤  

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2004-04

  • 과제시작년도

    2003

  • 주관부처

    중소기업청

  • 사업 관리 기관

    한국산업기술평가원

  • 등록번호

    TRKO201000015424

  • 과제고유번호

    1420005498

  • DB 구축일자

    2013-04-18

  • 초록 


    ...


    (1) 최적의 Fluorine Radical을 생성 할 수 있는 Plasma Reactor 개발
    (2) RF Manual Matcher 개발
    (3) Fluorine Radical distributor 개발
    (4) 적...

    (1) 최적의 Fluorine Radical을 생성 할 수 있는 Plasma Reactor 개발
    (2) RF Manual Matcher 개발
    (3) Fluorine Radical distributor 개발
    (4) 적정 Gas Flow System 개발
    (5) Controller 개발


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 요약서(초록) ...3
    4. 목차 ...5
    5. 제 1장 서 론 ...6
    6. 제 1절 기술개발의 개요 ...6
    7. 제 2절 기술개발의 목표 및 내용 ...9
    8. 제 2장 반도체 제조공정의 진공배관 세정장치 개발 ...10
    9. 제 1절...
    1. 표지 ...1
    2. 제출문 ...2
    3. 요약서(초록) ...3
    4. 목차 ...5
    5. 제 1장 서 론 ...6
    6. 제 1절 기술개발의 개요 ...6
    7. 제 2절 기술개발의 목표 및 내용 ...9
    8. 제 2장 반도체 제조공정의 진공배관 세정장치 개발 ...10
    9. 제 1절 시스템 구성 ...10
    10. 제 2절 Control System ...15
    11. 제 3장 성능시험 및 결과 ...17
    12. 제 1절 구성품 성능시험 및 결과 ...17
    13. 제 2절 Cleaning 시험 및 결과 ...19
    14. 제 4장 결언 ...25
    15. 부록 1. 제품사진 (시작품) ...26
    16. 부록 2. 제품도면 ...27
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

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