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보고서 상세정보

물질 선택적 라만센서 기반의 마이크로파 열 나노공정 오븐 개발
Microwave thermal nano-processing oven with matter-selective Raman sensor

  • 과제명

    물질 선택적 라만센서 기반의 마이크로파 열 나노공정 오븐 개발

  • 주관연구기관

    한국전기연구원
    Korea Electrotechnology Research Institute

  • 연구책임자

    김대호

  • 참여연구자

    장원석   이병윤   설승권   정순신  

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2016-02

  • 과제시작년도

    2015

  • 주관부처

    미래창조과학부
    KA

  • 사업 관리 기관

    한국전기연구원
    Korea Electrotechnology Research Institute

  • 등록번호

    TRKO201600001149

  • 과제고유번호

    1711027057

  • 키워드

    마이크로파 가열,마이크로파 오븐,온도측정,라만분광,균일가열microwave heating,microwave oven,temperature measurments,Ramatspectroscopy,uniform heating

  • DB 구축일자

    2016-05-21

  • 초록 


    IV. Results
    1. High density microwave thennal nano-processmg oven
    - Achievement of heating density of 625 W/㎠ by low loss c...

    IV. Results
    1. High density microwave thennal nano-processmg oven
    - Achievement of heating density of 625 W/㎠ by low loss cavity design using dielectric resonator
    - High speed heating to 935℃ within 20msec for reduced graphene
    2. Realtime Raman sensor and data feedback system
    - Accuracy of measurement deviation of 3℃ with Raman sensor
    - Development of real time microwave control program based on Raman spectrum data
    - Feability test for reduction process of graphene oxide
    3. Equalization technology of electromagnetic-wave electric fields
    - Near-cutoff condition waveguide and its guided wavelength
    - Microwave uniform heating based on near-cutoff conditions
    - Computational analysis of microwave uniform heating
    - Design and fabrication of batch-type microwave applicators for uniform heating
    - Design and fabrication of microwave applicators for continuous uniform heating
    - Temperature uniformity of microwave uniform heating
    Computational analysis: 915MHz, width 20 inch, non-uniformity 5%
    Structure design: 2450MHz, width 5 inch, non-uniformity 10%


    1. 고밀도 마이크로파 열 나노공정 오븐 제작 (Heating power density > 600W면수/cm2)
    - 가열샘플에 집중되며 기판에 평행한 전기장 모드를 가지는 마이크로파 공진기 설계를 통해 고밀도 가열 오븐 개발...

    1. 고밀도 마이크로파 열 나노공정 오븐 제작 (Heating power density > 600W면수/cm2)
    - 가열샘플에 집중되며 기판에 평행한 전기장 모드를 가지는 마이크로파 공진기 설계를 통해 고밀도 가열 오븐 개발
    2. 실시간 라만센싱 및 데이터피드백 시스템 제작 (데이터피드백 속도 > 100 data/s)
    - 라만산란 빛을 효과적으로 집광할 수 있는 마이크로파 공진기 구조와 고속 라만분광 시스템을 구축하고, 획득한 데이터를 마이크로파 제어시스템에 실시간으로 분석하여 피드백 할 수 있는 시스템 개발
    3. 전자기파 전기장 균일가열 구조 수치해석 및 설계기술 개발
    - 차단근접조건 도파관 및 관내파장
    - 차단근접조건에 기초한 마이크로파 균일가열
    - 마이크로파 균일가열의 전자기파 수치해석
    - 배치식 마이크로파 균일가열 어플리케이터 설계 및 제작
    - 연속식 마이크로파 균일가열 어플리케이터 설계 및 제작
    - 마이크로파 균일가열의 온도 균일도:
    수치해석: 915MHz, 폭 20인치, 불균일도 5%
    구조설계: 2450MHz, 폭 5인치, 불균일도 10%


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 보고서 초록 ... 3
    4. 요약문 ... 4
    5. SUMMARY ... 6
    6. CONTENTS ... 8
    7. 목차 ... 9
    8. 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 11
    9. 제 1 절 연구개발의 목적 ... 11
    10. ...
    1. 표지 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 보고서 초록 ... 3
    4. 요약문 ... 4
    5. SUMMARY ... 6
    6. CONTENTS ... 8
    7. 목차 ... 9
    8. 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 11
    9. 제 1 절 연구개발의 목적 ... 11
    10. 제 2 절 연구개발의 필요성 ... 12
    11. 제 3 절 연구개발의 범위 ... 14
    12. 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 19
    13. 제 1 절 국내외 기술 및 연구동향 ... 19
    14. 제 2 절 국내외 특허동향 ... 19
    15. 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 21
    16. 제 1 절 고밀도 마이크로파 열 나노공정 오븐 ... 21
    17. 제 2 절 라만센서 및 마이크로파 제어 시스템 ... 23
    18. 제 3 절 전자기파 전기장 균일화 기술 ... 26
    19. 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 33
    20. 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 34
    21. 끝페이지 ... 37
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

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