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보고서 상세정보

나노측정 요소기술 개발

  • 과제명

    나노측정 요소기술 개발

  • 주관연구기관

    한국표준과학연구원
    Korea Research Institute of Standards and Science

  • 연구책임자

    안상정

  • 참여연구자

    오가와 타카시   조용재   조복래   류현   박인용   조현모   김영헌   김주황   그외 다수   배문섭  

  • 보고서유형

    연차보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2015-10

  • 과제시작년도

    2015

  • 주관부처

    미래창조과학부
    KA

  • 사업 관리 기관

    한국표준과학연구원
    Korea Research Institute of Standards and Science

  • 등록번호

    TRKO201600001241

  • 과제고유번호

    1711034515

  • 키워드

    하전입자,연성물질,나노소자,나노측정,나노물질Charged particle,Soft matter,Nano device,Nanoscale characterization,Nanomaterials

  • DB 구축일자

    2016-05-14

  • 초록 


    ...


    연구목표
    ◦ 나노스케일 형상측정 및 극미량 성분분석의 어려움을 겪고 있는 연성물질 (soft matter)에 대하여 전자빔 및 이온빔 기반의 측정 및 가공기술을 개발한다. 현재 불가능한 상태의 형상측정, 분광측정, 성분측정 등...

    연구목표
    ◦ 나노스케일 형상측정 및 극미량 성분분석의 어려움을 겪고 있는 연성물질 (soft matter)에 대하여 전자빔 및 이온빔 기반의 측정 및 가공기술을 개발한다. 현재 불가능한 상태의 형상측정, 분광측정, 성분측정 등을 포함한 융합측정 원천기술을 발굴하고 첨단측정장비기술을 가속화 하여 연성물질에 대한 나노가공, 나노조작, 나노분석, 등의 연구능력을 향상.
    ◦ 차세대 나노소자용 한계극복의 나노측정기술 개발을 통하여, 신구조 및 신물질 기반에 의한 혁신적 발전이 예상되는 차세대 나노기술에 대응하고, 핵심요소기술인 나노형상 및 나노물성 측정기술을 연구 개발하여 양자전자 소자, 유연소자, 신약개발, 질병진단 등의 신제품들의 창출을 촉발시키며, 측정과학 뿐만 아니라 측정표준 및 측정장치의 요소기술을 개발

    연구내용
    ○ 나노측정 요소기술개발 중과제는 ‘하전입자기반 연성물질 측정기술 개발’과 ‘차세대 나노소자 핵심측정기술 개발’ 2개의 소과제로 구성되어 4가지 분야 기술을 개발.
    1. 융합측정장비 개발 분야
    - 연성물질 측정용 고분해능 ESEM 시스템 개발
    - 융합현미경용 이온총 설계 및 이온광학 결상계 개발
    - Low Voltage STEM-EELS 측정 기술 개발
    2. 하전입자와 연성물질 상호작용 연구 분야
    - 주사전자현미경 내 액상 환경 구현기술 개발
    - 저전압 STEM-EELS 장비를 이용한 연성물질 측정 모델 시스템 개발
    - 연성물질에 의한 전자 산란 실험 및 전자에너지 손실 측정
    3. 나노형상 3차원 측정기술 분야
    - 실시간 분광타원계측기(RTSE) 측정표준 확립 및 RTSE 교정용 CRM 10종 개발
    - 나노 생체박막 정량측정기술 개발
    - 3차원 나노구조 및 나노물성 측정 AFM-SEM 융합현미경 기술의 개발
    - sub-10 nm 탄소나노튜브 탐침 개발
    - 다파장 레이저 기반 3D 형상 고속측정기술 개발 (200 nm 해상도)
    - 광유도력 나노탐침현미경(OIFM) 기술개발
    4. 나노물성 측정기술 분야
    - 자성동역학 측정장비 개발
    - 50 nm 이하 분해능의 TR-MOKE 나노 현미경 시스템 구축 및 초고속 이미지 측정 기술 개발
    - 단일원자 및 단일 전자 스핀 물성 측정기술 개발

    기대효과
    ◦ 국내 관련 산업체에 나노융합현미경 시장의 조기진입 및 선도할 수 있는 기술 수준 향상 도모
    ◦ 대표적 나노 소재산업인 반도체 및 평판디스플레이 산업을 위한 계측 및 검사 장비 산업의 창출 지원
    ◦ 나노수준 새로운 현상 규명 및 나노 신소재 개발에 활용하여 원천기술 개발에 기여
    ◦ 개발 기술들의 지적재산권 확보 및 기술이전을 통한 첨단나노측정장비산업 활성화 도모
    ◦ 측정표준확립: RTSE 표준장치 제작 및 다파장 굴절률 측정표준 확립
    ◦ CRM 개발: RTSE 교정용 CRM 10종 개발


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ... 1
    2. 주요사업 연차실적·계획서 ... 2
    3. 한글요약문 ... 5
    4. Ⅱ. 1차년도(’15년) 실적 ... 6
    5. 1. 연구개발 개요 ... 6
    6. 2. 연구개발 목표 및 평가의 착안점 ... 23
    7. 3. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 25
    8. 4. 연구수...
    1. 표지 ... 1
    2. 주요사업 연차실적·계획서 ... 2
    3. 한글요약문 ... 5
    4. Ⅱ. 1차년도(’15년) 실적 ... 6
    5. 1. 연구개발 개요 ... 6
    6. 2. 연구개발 목표 및 평가의 착안점 ... 23
    7. 3. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 25
    8. 4. 연구수행 내용 및 결과 ... 26
    9. 5. 연구개발 목표 달성도 및 자체평가 ... 67
    10. 6. 연구수행방법의 우수성과 등 ... 71
    11. 7. 사업화 가능성 및 사회‧경제적 기여도 ... 72
    12. 8. 연구성과 및 활용 ... 73
    13. 9. 연구 투입 자원 내역 ... 81
    14. 10. 중간진도 점검 결과 및 개선내역 ... 84
    15. 11. 연구책임자의 자율 평가 의견 ... 84
    16. 12. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 86
    17. 13. 중요 연구변경 사항 ... 86
    18. 14. 기타 건의사항 ... 86
    19. Ⅲ. 2차년도(’16) 계획 ... 87
    20. 1. 국내․외 관련 분야의 환경 변화 ... 87
    21. 2. 연구개발 목표 및 내용 ... 93
    22. 4. 연구성과 목표 ... 95
    23. 4. 연구개발 추진체계 ... 96
    24. 5. 산·학·연 협동연구 추진계획 ... 98
    25. 6. 국제공동연구(협력) 추진계획 ... 99
    26. 7. 연구개발결과의 활용방안 및 기대성과 ... 99
    27. 8. 연구원 편성표 ... 104
    28. 끝페이지 ... 106
  • 참고문헌

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