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카본 나노 구조체 담지 구리 박막 형성을 위한 표면처리 기술 개발
Development of surface technology for fabrication of carbon nano structure embedded copper thin film

  • 과제명

    카본 나노 구조체 담지 구리 박막 형성을 위한 표면처리 기술 개발(1/1)

  • 주관연구기관

    한국생산기술연구원
    Korea Institute of Industrial Technology

  • 연구책임자

    엄현진

  • 참여연구자

    이민수   박재영   박민주   김호형  

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2016-01

  • 과제시작년도

    2015

  • 주관부처

    미래창조과학부
    KA

  • 사업 관리 기관

    한국생산기술연구원
    Korea Institute of Industrial Technology

  • 등록번호

    TRKO201600001864

  • 과제고유번호

    1711034219

  • 키워드

    탄소 네트워크,구리 박막,담지 구조,하이브리드구조,표면처리기술,도금,씨앗층,전극,유연기판,접착력Carbon network,copper film,embedded structure,hybrid structure surface technology,electroplating,seed layer,electrode,flexible substrate,adhesion force

  • DB 구축일자

    2016-05-21

  • 초록 


    ...


    □ 핵심기술
    ○ 카본 나노 구조체 담지 구리 복합체 박막 형성 기술

    □ 개발의 목표
    ○ 유연 전자부품 회로 형성용 구리 박막의 기계적 물성 향상 위한 도전성 카본 나노 구조체 코팅 기술과 네트워크 형성 기술 ...

    □ 핵심기술
    ○ 카본 나노 구조체 담지 구리 복합체 박막 형성 기술

    □ 개발의 목표
    ○ 유연 전자부품 회로 형성용 구리 박막의 기계적 물성 향상 위한 도전성 카본 나노 구조체 코팅 기술과 네트워크 형성 기술 개발
    ○ 유연 전자부품 회로 형성용 구리 박막의 기계적 물성 향상을 위한 카본 나노 구조체 담지 기반 구리 복합체 형성을 위한 표면처리 기술과 전해도금 기술 개발
    ○ 카본 나노 구조체 담지 기반 구리 도금 복합체 박막의 구조 및 전기 기계적 물성 분석 특성 향상 기술 개발

    □ 개발내용 및 결과
    ○ 유연 기판 표면에 도전성 카본 나노 네트워크 구조체 형성 위한 코팅 기술 개발
    - 기판 표면 도전성 카본 나노 구조체 박막 형성 공정 카본 나노튜브 분산 기술 용액 기반 카본 나노튜브 구조체 필름 형성 공정 최적화
    - 기판 표면 도전성 카본 나노 구조체 박막의 접착력 특성 향상 위한 공정기술 개발 카본 나노튜브 구조체 필름 임베드 기술
    - 표면처리 후 표면 활성 여부 확인 카본 구조체 표면처리 후 구리 도금 시 카본 구조체 면적 대비 초기 구리 도금 면적 80% 이상
    ○ 유연 기판 표면에 카본 나노 네트워크 구조체 담지 기반 구리 복합체 박막 형성 위한 표면처리 기술 구리 전해도금 기술 개발과 최적화
    - 유연 회로 기판 표면에 카본 나노 네트워크 구조체 담지 기반 구리 복합체 형성 위한 표면처리(씨앗층 촉매 형성) 기술 개발
    - 유연 회로 기판 표면에 도전성 카본 나노 구조체 박막의 접착력 특성 향상 위한 표면처리 기술 (전기화학적 산화 표면처리 기술) 적용
    - 유연 회로 기판 표면에 카본 나노 네트워크 구조체 담지 기반 구리 복합체 형성 위한 구리 무전해 도금 기술 개발
    ○ 카본 나노 네트워크 구조체 담지 기반 구리 도금 박막의 전기 기계적 물성 분석 특성 향상 기술 개발과 제품 적용 기술 개발
    - 비저항 : 2.30 μΩcm 내외
    - 접착력 : > 800nm (최대 측정 편향 (maximum measurable deflection)
    : > 0.35N (접착력, Peel test시 maximum load)


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 기관주요사업 요약서(초록) ... 3
    4. 목차 ... 6
    5. 제 1 장 서론 ... 7
    6. 제 1 절 연구개발의 필요성 ... 7
    7. 제 2 절 국내 외 관련 기술의 현황 ... 8
    8. 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적·경제적 파급...
    1. 표지 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 기관주요사업 요약서(초록) ... 3
    4. 목차 ... 6
    5. 제 1 장 서론 ... 7
    6. 제 1 절 연구개발의 필요성 ... 7
    7. 제 2 절 국내 외 관련 기술의 현황 ... 8
    8. 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적·경제적 파급 효과 ... 11
    9. 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 12
    10. 제 1 절 당해년도 목표 및 평가 방법 ... 12
    11. 제 2 절 당해연도 개발 내용 및 개발 범위 ... 13
    12. 제 3 장 결과 및 향후 계획 ... 15
    13. 제 1 절 연구개발 추진 체계 ... 15
    14. 1. 연구개발 추진 전략 ... 15
    15. 2. 연구개발 추진 체계 ... 16
    16. 3. 연구수행 편성도 ... 16
    17. 제 2 절 당해년도 연구개발 결과 ... 17
    18. 1. 당해년도 연구개발 추진 일정 및 달성도 ... 17
    19. 2. 당해연도 연구개발 추진 실적 ... 18
    20. 제 3 절 기대효과 및 사업화 계획 ... 19
    21. 제 4 장 참고문헌 ... 22
    22. 끝페이지 ... 23
  • 참고문헌

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