본문 바로가기
HOME> 보고서 > 보고서 검색상세

보고서 상세정보

이중구조 피조우간섭계를 이용한 웨이퍼 평탄도 측정기술
Development of Measurement Technology for Wafer Flatness Using Tandem Fizeau Interferometer

  • 과제명

    이중구조 피조우간섭계를 이용한 웨이퍼 평탄도 측정기술(1/1)

  • 주관연구기관

    한국생산기술연구원
    Korea Institute of Industrial Technology

  • 연구책임자

    이호재

  • 참여연구자

    이상선   전우주   최영국   김명복   나은주   김로사  

  • 보고서유형

    최종보고서

  • 발행국가

    대한민국

  • 언어

    한국어

  • 발행년월

    2016-01

  • 과제시작년도

    2015

  • 주관부처

    미래창조과학부
    KA

  • 사업 관리 기관

    한국생산기술연구원
    Korea Institute of Industrial Technology

  • 등록번호

    TRKO201600001921

  • 과제고유번호

    1711034270

  • 키워드

    이중구조피조우간섭계,웨이퍼평탄도Tandem Fizeau Interferometer,Wafer Flatness

  • DB 구축일자

    2016-05-21

  • 초록 


    ...


    2. 개발결과 요약
    □ 핵심기술
    간섭계 설계 및 제작 기술, 대구경광하계 제작기술, 신호분석기술

    □ 개발의 목표
    대구경 사파이어(Al2O3) 기판의 평탄도 측정기술...

    2. 개발결과 요약
    □ 핵심기술
    간섭계 설계 및 제작 기술, 대구경광하계 제작기술, 신호분석기술

    □ 개발의 목표
    대구경 사파이어(Al2O3) 기판의 평탄도 측정기술 개발

    □ 개발내용 및 결과
    ○ 점광원에 대한 대구경 시준미러 설계 및 제작
    ▸ 조명광학계 정렬 및 성능평가
    ○ 간섭무늬 결상광학모듈 설계 및 시제품 제작
    ▸ 초점심도, 배율, 이미지센서를 고려한 결상광학모듈 설계 및 제작
    ▸ 위상천이(Phase Shifting)를 위한 초정밀 구동기구 설계 및 제작
    ○ 위상천이를 위한 정밀구동스테이지 설계 및 시작품 제작
    ▸ 구동분해능 : 50 ㎚ / 구동범위 : 5 ㎜ 이상
    ○ 간섭무늬 분석을 통한 평탄도 측정 알고리즘 개발 및 시뮬레이터 구성
    ▸ FFT를 이용한 고분해능의 위상기울기 분석기법 적용


  • 목차(Contents) 

    1. 표지 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 기관주요사업 요약서(초록) ... 3
    4. 목차 ... 5
    5. 제 1 장 서론 ... 6
    6. 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 6
    7. 제 2 절 국내∙외 관련기술의 현황 ... 7
    8. 제 3 절 기술개발시 예상되는 기술적∙경제...
    1. 표지 ... 1
    2. 제출문 ... 2
    3. 기관주요사업 요약서(초록) ... 3
    4. 목차 ... 5
    5. 제 1 장 서론 ... 6
    6. 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 6
    7. 제 2 절 국내∙외 관련기술의 현황 ... 7
    8. 제 3 절 기술개발시 예상되는 기술적∙경제적 파급효과 ... 8
    9. 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 9
    10. 제 1 절 목표 및 평가 방법 ... 9
    11. 제 2 절 개발 내용 및 개발 범위 ... 10
    12. 제 3 장 결과 및 향후 계획 ... 15
    13. 제 1 절 연구개발 추진 체계 ... 15
    14. 1. 연구개발 추진 전략 ... 15
    15. 2. 연구개발 추진 체계 ... 15
    16. 3. 연구수행 편성도 ... 16
    17. 제 2 절 연구개발 결과 ... 16
    18. 1. 연구개발 추진 일정 및 달성도 ... 16
    19. 2. 연구개발 추진 실적 ... 17
    20. 제 3 절 기대효과 및 사업화 계획 ... 17
    21. 별첨. 3D 설계 및 제작도면 ... 18
    22. 끝페이지 ... 29
  • 참고문헌

    1. 전체(0)
    2. 논문(0)
    3. 특허(0)
    4. 보고서(0)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역